據統計，伺服閥的故障，大部分都與油液汙染有關。
可能原因：外引線斷路；電插頭焊點脫焊；線圈黴斷或內引線斷路(或短路)；進油或回油未接通，或進、回油口接反。
可能原因：閥安裝座表面不平，或底面密封圈未裝妥，使閥殼體變形，閥芯卡死；閥控制級區域性堵塞；閥芯被髒物或鏽塊卡住。
可能原因：系統供油壓力低；閥內部油濾太髒；閥控制級區域性堵塞；調零機械或力矩馬達部分零元件鬆動。
可能原因：系統反饋斷開；系統出現正反饋；系統的間隙、摩擦或其它非線性因素；閥的解析度變差、滯環增大；油液太髒。
可能原因：油液太髒；系統開環增益太大；油液混入大量空氣；系統接地干擾；伺服放大器電源濾波不良；伺服放大器噪聲變大，閥線圈絕緣變差；閥外引線碰到地面；電插頭絕緣變差；閥控制級時通時堵。
可能原因：油液太髒；系統極限環振盪；執行機構摩擦大；閥零位不穩(閥內部落定或機構鬆動，或外調零機構未鎖緊，或控制級中有汙物)；閥的解析度變差。
可能原因：安裝座表面粗糙度過大；安裝座表面有汙物；底面密封圈未裝妥或漏裝；底面密封圈破裂或老化；彈簧管破裂。
據統計，伺服閥的故障，大部分都與油液汙染有關。
故障一：閥不工作（無流量或壓力輸出）可能原因：外引線斷路；電插頭焊點脫焊；線圈黴斷或內引線斷路(或短路)；進油或回油未接通，或進、回油口接反。
故障二：閥輸出流量或壓力太大或不受控制可能原因：閥安裝座表面不平，或底面密封圈未裝妥，使閥殼體變形，閥芯卡死；閥控制級區域性堵塞；閥芯被髒物或鏽塊卡住。
故障三：閥反應遲鈍，響應降低，零偏增大可能原因：系統供油壓力低；閥內部油濾太髒；閥控制級區域性堵塞；調零機械或力矩馬達部分零元件鬆動。
故障四：閥輸出流量或壓力(或執行機構速度或力)不能連續控制可能原因：系統反饋斷開；系統出現正反饋；系統的間隙、摩擦或其它非線性因素；閥的解析度變差、滯環增大；油液太髒。
故障五：系統出現抖動或振動（頻率較高）可能原因：油液太髒；系統開環增益太大；油液混入大量空氣；系統接地干擾；伺服放大器電源濾波不良；伺服放大器噪聲變大，閥線圈絕緣變差；閥外引線碰到地面；電插頭絕緣變差；閥控制級時通時堵。
故障六：系統變慢（頻率較低）可能原因：油液太髒；系統極限環振盪；執行機構摩擦大；閥零位不穩(閥內部落定或機構鬆動，或外調零機構未鎖緊，或控制級中有汙物)；閥的解析度變差。
故障七：外部漏油可能原因：安裝座表面粗糙度過大；安裝座表面有汙物；底面密封圈未裝妥或漏裝；底面密封圈破裂或老化；彈簧管破裂。