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  • 1 # 氫氧氫

    CMP拋光液談不上是晶片製造工藝中的瓶頸,因為CMP拋光液早已實現國產自主化,國內企業生產的此類產品與國外的已無差異,甚至有些品類做得更好。

    晶片製造工藝,可分為兩道工序,一是晶圓製造工序,二是晶圓上光刻積體電路圖工序。

    晶圓製造工序的核心技術:

    CMP拋光液技術和CMP拋光墊技術

    目前這兩種核心技術,國內企業已經實現了技術壁壘突破,完全可以自主生產。包括相關的拋光機,國內的產品與國外產品已經旗鼓相當。

    CMP拋光液由磨料(常用的有奈米級二氧化矽粒子和奈米級三氧化二鋁粒子)、穩定劑、氧化劑、PH調節劑、有腐蝕功效的表面活性劑、成膜劑等組成。

    CMP拋光液的核心材料是磨料,國產的磨料技術,有的品類已經比國外產品好很多。

    綜上所述,CMP拋光液不能說是晶片國產化的瓶頸,目前晶片製造的技術壁壘是光刻機和光刻膠製造技術。

    如需瞭解水性拋光液怎麼選用消泡劑,

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