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1 # 誰有雞湯
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2 # 鼎玉閣
我們可以模擬製作一個光刻機試試就會發現,光刻機涉及到很多問題,需要多次曝光才能獲得清晰圖案,這就涉及到曝光鏡頭元件精度,材料學耐磨,歸零再曝光,聚焦,鏡頭抗摩爾效應,鏡頭解析度光學特性,鏡頭抗逆光鍍膜效果,電路驅動伺服精度涉及到電源線性電源波紋諧波干擾,驅動模組精度jitter失真度,最後帶來的鏡頭抖動精度,如果不夠純淨,那麼抖動出來的必然不清晰,還涉及到光源純度聚焦度,衰減率,一致性,色溫特性,抗輻射外部干擾能力,被燒錄元器件軌道精度,動態對焦歸零精度,我只說了冰山一角,太多需要解決的,
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3 # 浩子哥科技賦能
全球光刻機發展史,光刻機是荷蘭阿斯麥ASML首創的嗎?
很多人都以為光刻機是由全球最先進的光刻機制造商荷蘭阿斯麥ASML首次生產製造的?
甚至,還有人認為,光刻機這種極其複雜的光刻機,難道不是外星科技的產物嗎?
其實,並非如此!
阿斯麥ASML是全球第一家,也是唯一一家研製出EUV極紫外光刻機的廠商;
只有EUV光刻機(採用了波長為13.4nm的紫外線)才能夠用於7nm製程及更先進製程晶片的製造!
阿斯麥ASML也是站在眾多前人巨人的肩上成長起來的!
那麼全球第一臺光刻機到底是怎麼來的呢?
1947年12月,大名鼎鼎的美國貝爾實驗室的肖克利(“電晶體之父”)、巴丁和布拉頓共同研製出了一種點接觸型的鍺電晶體!(三人因此獲得了1956年的諾貝爾物理學獎)
自此以後,光刻技術才有了發展的契機!
……
1958年,德州儀器的傑克·基爾比(積體電路的兩位發明人之一)提出併發明瞭鍺基底擴散工藝的積體電路!(2000年,傑克·基爾比因積體電路的發明被授予諾貝爾物理學獎,這是一個“遲到”了42年的諾貝爾物理學獎)
如果沒有傑克·基爾比,就很難有如今的半導體產業盛況,電腦、手機等電子產品不知道牛年馬月才能進入每一個家庭!
1959年,快捷半導體的羅伯特·諾伊斯(英特爾創始人之一)發明了矽基底平面工藝的積體電路!
由於矽積體電路變成了積體電路市場的主流,羅伯特·諾伊斯與傑克·基爾比,一起被譽為“積體電路之父”!
……
1956年,美國貝爾實驗室用電晶體代替電子管,製成了世界上第一臺全電晶體計算機!
隨後,快捷半導體研製出了世界上第一個適用單結構矽晶片。
20世紀60年代,快捷半導體提出了CMOS IC(積體電路)製造工藝;
IBM研製出了第一臺IC(積體電路)計算機IBM360;
美國GCA公司(美國地球物理學公司)開發出了光學圖形發生器和分佈重複精縮機!
……
20世紀70年代,GCA開發出第一臺分佈重複投影曝光機(光刻機)!
20世紀80年代,SVGL(美國矽谷集團光刻系統公司)開發出了第一代步進掃描投影曝光機(光刻機)!
1995年,日本佳能Cano研製出了300mm晶圓曝光機(光刻機)!
隨後,阿斯麥ASML推出步進掃描曝光機(光刻機),採用的是193nm的波長!
2012年,為了推進EUV極紫外光刻機等先進裝置的研製,阿斯麥ASML推出了“客戶聯合投資專案”,英特爾、臺積電、三星成為了股東,分別持有15%、5%、3%左右的股權!
當阿斯麥ASML搞定EUV光刻機之後,英特爾、臺積電、三星享有了優先採購權!
咱們國內的上海微電子,研製的光刻機已經能夠滿足90nm光刻工藝需求!
光刻機研製之路,難如上青天!
哪怕它再難,咱們也要將它征服!
……
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4 # 天高雲淡10769
最先是做電晶體,一氣做幾千只,一隻幾元,後來想到把各管子連成一塊功能電路,再後來縮小管子面積成了大規模整合塊,這個階段,中國開始只想掙快錢,做基礎辛苦了。最後密度太高跟不上就把大量工廠都廢了。軍方還是堅持了自制,要求比民用低,所以光刻機沒有跟上密度的。要按民間做法,買晶片,什麼中芯國際,上海微電早就沒了。
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5 # 使用者範工
我相信中國科學家的智慧,別人能造出來的東西,華人也能造出來,相信在不久後,7nm的光刻機華人將會造出來
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1820 年,奧斯特從實驗時發現了電流對磁針有力的作用,揭開了電學理論的新的一頁。雅可比在 1834 年製造出世界上第一臺電動機,從而證明了實際應用電能的可能性。1883 年美國發明家愛迪生髮現了熱電子效應,隨後在1904年弗萊明利用這個效應制成了電子二極體,並證實了電子管具有“閥門”作用,他首先將其用於無線電檢波。1906 年美國的德弗雷斯在弗萊明的二極體中放進了第三個電極——柵極而發明了電子三極體,從而建樹了早期電子技術上最重要的里程碑
後面才是生產和材料工藝的逐漸迭代!