廣泛用於電子、電力、石油化工、採礦、鋼鐵、有色金屬冶煉、熱力工程、生化、環境監測、醫學研究及診斷、食品保鮮等領域。特種氣體的應用領域主要在積體電路製造、太陽能電池、化合物半導體、液晶顯示器、光纖生產四大領域,其中主要應用於半導體積體電路的生產製造。

電子行業常用的特氣超越三十餘種，按風險性質可分為不燃氣體、可燃氣體、氧化性氣體、腐蝕性氣體、毒性氣體等。依照物理形態可分為緊縮氣體、液化氣體和低溫氣體。特種氣體的應用範疇主要在積體電路製造、太陽能電池、化合物半導體、液晶顯現器、光纖消費四大範疇。

　　電子行業常用的特氣超越三十餘種，按風險性質可分為不燃氣體、可燃氣體、氧化性氣體、腐蝕性氣體、毒性氣體等。依照物理形態可分為緊縮氣體、液化氣體和低溫氣體。特種氣體的應用範疇主要在積體電路製造、太陽能電池、化合物半導體、液晶顯現器、光纖消費四大範疇。

　　其中主要應用於半導體積體電路的消費製造。在半導體工業中應用的有110餘種單元特種氣體，其中常用的有20~30種。在積體電路製造應用方面詳細包括積體電路晶片製程、化學氣相堆積和氣體應用、刻蝕和氣體應用、摻雜和氣體應用。　　在太陽能電池應用方面詳細包括太陽能電池的應用、晶體矽太陽能電池消費工藝和氣體應用、薄膜太陽能電池消費工藝和氣體應用；在化合物半導體應用方面詳細包括化合物半導體的應用、MOCVD/LED消費工藝和氣體應用。　　在液晶顯現器應用方面詳細包括TFT/LCD的應用、TFT/LCD消費工藝和氣體應用；在光纖應用方面詳細包括光纖應用和光纖預製棒的消費工藝和氣體應用。普通混合氣體由兩種以上氣體混合配製而成的氣體，而且主要標出大致濃度，即可滿足運用請求，這種氣體稱為普通混合氣體。　　對氣體剖析儀用氣體，如含氫10%,其他是氦的混合氣以及含甲烷5%或10%,其他是氬的混合氣，被用作氣相色譜儀的載氣；含氫40%,其他是氮或氦的混合氣被用作氫火焰總烴檢測儀的燃料氣。另外，含氧20%~60%,其他是氬的混合氣被用來發作化學熒光剖析儀用的臭氧。