微機電系統是將微電子技術與機械工程融合在一起的一種工業技術！

它的操作範圍在微米級別內，比它精度更高的在奈米範圍的類似技術稱為納機電系統，微機電系統在日本被稱為微機械，在歐洲被稱為微系統技術。微機電系統為分子奈米技術或者分子電子學的超前概念不同。微機電系統有尺寸為1至100微米的部件組成，微機電系統的加工技術有半導體技術改造而來，使其可以應用到實際當中來，而後者一般用於製造電子裝置。

常見的應用有一下幾個方面：

在噴墨印表機裡作為壓電元件；

在汽車裡作為加速規來控制碰撞時安全氣囊防護系統的使用；

在汽車裡作為陀螺來測定汽車傾斜，控制動態穩定系統；

在輪胎裡作為壓力感測器；

在醫學上測量血壓；

數字微鏡晶片；

微型麥克風陣列；

MEMS微型投影儀；

在計算機網路中充當光互動系統。

微機電系統

微機電系統（MEMS, Micro-Electro-Mechanic System）是一種先進的製造技術平臺。它是以半導體制造技術為基礎發展起來的。是集微型機構、微型感測器、微型執行器以及訊號處理和控制電器甚至介面、通訊和電源於一體的可批次製作的微型器件或系統。

微機電系統是在微電子技術和微機械技術基礎上發展起來的多學科交叉的新領域。

有幾個顯著的特點

1、尺寸很小的系統；2、本身尺寸不算小，但其作用物件很小的系統，比如對細胞作業的系統；3、把原來笨重的裝置變成可攜式的系統，比如秀珍化學分析儀器；4、利用微智造技術製造出來的產品。

微機電系統的構成

既是一個資訊系統，也是一個功能系統，主要有微驅動器、微感測器、微執行器、微處理器和微能源等要素組成。一個微機電系統可以分為四個功能單元：微驅動器、微感測器、資訊處理系統和介面。

微機電系統的應用

1、在航空、航天領域中的應用；

2、在生命科學與醫學方面的領域中應用；

3、在汽車領域中應用；

4、在通訊工程和資訊儲存領域中應用；

微機電系統（Micro Electro-Me-chanical Systems，MEMS）是指可批次製作的，集微型機構、微型感測器、微型執行器以及訊號處理和控制電路、直至介面、通訊和電源等於一體的微型器件或系統。MEMS是隨著半導體積體電路微細加工技術和超精密機械加工技術的發展而發展起來的。

微機電系統是微電路和微機械按功能要求在晶片上的整合，尺寸通常在毫米或微米級，具有重量輕、功耗低、耐用性好、價格低廉等優點。自八十年代中後期崛起以來發展極其迅速，被認為是繼微電子之後又一個對國民經濟和軍事具有重大影響的技術領域，將成為21世紀新的國民經濟增長點和提高軍事能力的重要技術途徑。

MEMS(微機電系統)最初大量用於汽車安全氣囊，而後以MEMS感測器的形式被大量應用在汽車的各個領域，隨著MEMS技術的進一步發展，以及應用終端“輕、薄、短、小”的特點，對小體積高效能的MEMS產品需求增勢迅猛，消費電子、醫療等領域也大量出現了MEMS產品的身影！