測量精度是指被測量的實測值與其真值的接近程度。測量精度和測量誤差從兩個不同的角度說明了同一個概念。因此，可用測量誤差的大小來表示精度的高低。測量精度越高，則測量誤差就越小，反之，測量誤差就越大。

由於在測量過程中存在系統誤差和隨機誤差，所以又有精密度、精確度和準確度的概念。

精密度是指在規定的測量條件下連續多次測量時，所得測量結果彼此之間符合的程度，它表示測量結果中隨機誤差的大小。隨機誤差小，則精密度高。

精確度是指連續多次測量所得的測得值與真值的接近程度，它表示測量結果中系統誤差與隨機誤差綜合影響的程度。系統誤差和隨機誤差都小，則精確度高。

準確度是指在規定的條件下，被測量中所有系統誤差的綜合，它表示測量結果中系統誤差影響的程度。系統誤差小，則準確度高。

一般情況下，精密度高的，準確度不一定高，反之亦然；但精確度高時，準確度和精密度必定都高。

如上圖以射擊打靶為例，圖中圓圈表示靶心，黑點表示彈孔。第一個靶表現為彈著點密集但偏離靶心，表示隨機誤差小而系統誤差大；第二個靶表示彈著點圍繞靶心分佈，但很分散，說明系統誤差小而隨機誤差大；第三個靶表示彈著點既分散又偏離靶心，說明隨機誤差與系統誤差都大；第四個靶表示彈著點既圍繞靶心分佈而且彈著點又密集，說明系統誤差與隨機誤差都小。