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1 # 急速馬力快de原始碼控
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2 # 金億桶
Intel是荷蘭ASML的大股東,2012年Intel向ASML投資25.38億歐元用於購買15%的股權,臺積電投資8.38億歐元購買5%的股權,三星電子投資5.03億歐元購買3%的股權。ASML在目前的光刻機市場可以說是處於壟斷地位,高階光刻機都是他生產的,曾經的競爭對手尼康(對,就是賣相機那個)早已不是對手(DRAM企業還有用的)。事實上荷蘭的ASML是一個非常高等級的組裝廠,融合了整個西方的技術精華。
高階的EUV光刻機就長這樣,一臺售價約1億歐元,別嫌貴,你還買不到。
ASML主要的美國客戶就是Intel,而Intel是ASML的大股東,你讓ASML不賣給Intel,這明顯不可能。
光刻機你從名字就能看出,光照是核心,這個光照的核心是由光源和鏡頭組成的,看下光刻機的工作原理圖。ASML的光源採用的是美國Cymer公司的技術,這家公司在2012年被ASML以26億美元收購,另外一個核心技術就是鏡頭,ASML一直採用的是蔡司的鏡頭,2016年ASML公司宣佈斥資20億美元(現金11億美元收購卡爾蔡司SMT子公司24.9%的股份,其它為研發費用投入)入股卡爾蔡司公司,雙方將合作研發EUV光學系統。
Intel為了防止ASML一家獨大,還扶持過尼康,然而尼康問題太多最後放棄了,直接入股ASML。
中國的上海微電子(SMEE)也在做光刻機,但是差距實在是差的太大了,根本看不到追趕的希望,別說ASML,連尼康的尾氣都看不到。荷蘭沒有任何能力與美國抗衡。
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3 # 無線電訊號
已知重要的EUV光源和反射鏡是美國提供的。而且是最為重要的部件,平常來說反射鏡知道的並不多,多是知道以蔡司的鏡頭。
EUV極紫外光:液態的微米錫滴在高功率的鐳射脈衝照射下激發等離子。具體是什麼玩意普通人真的就不知道了。
光源是cymer的,荷蘭微晶片裝置製造商ASML將斥資19.5億歐元(約合25億美元),收購其關鍵的光學技術提供商Cymer,雖然收購了,但是生產還是在美國本土,收購只是ASML整合機器更快。
反射鏡:EUV用的是13.5nm的光波長,無法透過目前用的透鏡材料,因此EUV系統為全反射。包括EUV的光罩(掩模)也是用反射結構。
第五代EUV光刻機:ASML光刻機可以使用波長為13.5奈米的極紫外光(EUV),實現14奈米、10奈米、和7納米制程的晶片生產,而透過技術升級,也可以實現9奈米,8奈米,6奈米,5奈米,4奈米乃至3奈米等製程的晶片生產。獲取波長為13.5nm的光是實現EUV光刻的一個重要步驟。鐳射等離子體(Laser-produced Plasma)極紫外光源(LPP-EUV光源)由於其功率可拓展的特性,成為了EUV光刻最被看好的高功率光源解決方案。
英特爾也是大股東,整個EUV專案也是美國國家實驗室聯合做處理啊的,ASML有一個非常奇特的規定,那就是隻有投資ASML,才能夠獲得優先供貨權,意思就是要求自己的客戶要先投資自己才行。這樣奇特的合作模式使得ASML獲得了大量的資金,包括英特爾、三星、海力士都在ASML中有相當可觀的股份,其中英特爾投資的金額十分驚人,高達25.13億歐元。
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4 # 許桓彬
技術寡頭是技術結構政治鏈的位置 與多少無關 猶如金融寡頭的小資本駕馭大資金 小的設局資本玩轉大的無序機構 一樣
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5 # 科技之重
其實,沒有美國推波助瀾的話,有沒有EUV光刻技術還兩說。在1997年,英特爾和美國牽頭成立了EUV LLC聯盟。
而EUV LLC聯盟的研發實力也是相當的雄厚,有著勞倫斯利弗莫爾,勞倫斯伯克利,桑迪亞三大美國國家實驗室。
還有著IBM,AMD,機車羅拉等高科技公司的加盟。在該聯盟內部,有著上百位頂尖科學家來研發EUV技術。假如說,在EUV技術上沒有取得突破的話,也是絕對不可能的,畢竟投入了大量的人力物力。
而ASML也正好在1997年加入了EUV LLC聯盟,並獲得了大量的相關的技術。在之後可以一舉超越尼康和佳能,成為獨攬EUV光刻機技術的企業。
而在ASML製造的EUV光刻機中,大約有55%以上的部件或者專利或者技術來自於美國。因為這是ASML公司,加入EUV LLC時對美國的承諾。
畢竟沒有美國的同意,現在可以製造EUV光刻機的企業或許也會換一家。也就是說,在EUV光刻機的技術發展上,美國佔據著主導地位。由此可見,在EUV技術上美國還是走在世界前列。畢竟,美國掌握著大量的,與EUV光刻機相關的技術或者專利。
而在EUV光刻機中,主要有光源,光刻,電子束檢測等來自美國。
像反光鏡,掩膜臺等主要來自德國,日本,南韓,英國,中國,歐洲。
其中包括最重要的波長為13.5奈米的光源,不過製造該光源的Cymer公司已經被ASML所收購了,成為ASML公司的一員。也就是說,在ASML收購Cymer公司之後,在光源這一塊,已經實現了自己自足,從理論上來說沒必要再受美國的制約。當然了,至於Cymer公司最終是誰說了算,還很難說。
畢竟可以研發出適合EUV光刻機使用的光源,並非是只有Cymer公司一家,還有日本的高能物理研究所,Gigaphoton公司;美國的Lyncean公司。也就是說,在EUV光刻機光源這一塊上,ASML並無法做到一家獨大。
有了光源之後還是不行的,畢竟光刻機是要製造出完整的晶片。而Brion公司就是研究晶片在製造過程中的奈米級掩膜修復,晶片設計,晶片製造缺陷檢測和矯正等難題的。在2007年,ASML也收購了該公司。
在微鐳射系統上,也是來自矽谷光刻集團的,也是被ASML給收購了。從理論上來看,該公司也屬於ASML。同Cymer公司一樣,矽谷光刻集團究竟誰說了算,也是個未知數。
所以說,儘管ASML收購了光源,檢測,微鐳射等相關的製造公司,但是技術依然被美國控制著。否則,在美國禁止向中國出口先進的EUV光刻機時,ASML也無法拒絕了。
現階段來看,在EUV光刻機技術上,還真沒有哪國可以超過美國。即便是EUV光刻機整合大廠ASML,也要用到較多的美國部件。
回覆列表
以最先進的荷蘭ASML製造的EUV極紫外光刻機為例,美國大概佔了20%。
可別小看這20%的技術,這就是美國的底氣,這就是為什麼美國說不可以將光刻機賣給中國,荷蘭就得乖乖聽話!
2018年4月,中芯國際向荷蘭ASML訂購了一臺EUV光刻機,用於7nm及以下的先進工藝,價格超過1.2億歐元(約10億人民幣),預計2019年底交貨,2020年正式安裝。
2019年11月,有媒體報道,該訂單受到美國政府關切,ASML將延後對中芯國際出貨。ASML迴應稱:“ASML出口EUV到中國需取得荷蘭政府的出口許可,該出口許可於今年到期,ASML已經於到期前重新進行申請,目前正在等待荷蘭政府核准。”從中我們不難看出,美國政府對荷蘭政府和ASML公司的干涉。
截至現在,2020年6月,中芯國際2年前訂購的ASML EUV極紫外光刻機,仍然沒有交貨,中芯國際也因此陷入了技術瓶頸。
一臺高階光刻機的零部件達到上10萬個,供應商數百家。ASML公開的關鍵技術零部件供應商主要集中在歐美,其中前17大供應商主要集中在歐盟,美國,日本以及中國臺灣。
美國佔了9家,
臺灣佔了4家,
日本佔了3家,
德國佔了1家。