最近中科院研發成功紫外超分辨光刻機的訊息刷屏了，使用365nm波長就能實現單次曝光最高線寬分辨力達到22nm，這個技術水平在光刻機中是很了不起的，做到了SP表面等離子體超衍射光刻機的極致，而且價格只有1000-2000萬元，不過中科院的SP光刻機並不能取代ASML的光刻機，二者的用途並不一樣，晶圓廠製造半導體晶片依然離不開ASML的光刻機。今天台積電、三星等公司要心驚一下了，因為ASML光刻機交貨遇到問題了，ASML元件供應商Prodrive突遭大火，導致部分生產線及庫存被毀，將影響2019年初ASML光刻機的交付日期，不過今年內的ASML光刻機交付不受影響。

來自路透社的訊息稱，ASML週一宣佈其供應商Prodrive上週六遭遇火災，摧毀了Prodrive公司部分生產線及庫存，ASML公司正在尋找其他供應來源，並幫助Prodrive儘快重啟生產。ASML執行長兼QuattroportePeter Wennink在一份宣告中表示：“我們希望Prodrive的管理層和員工在恢復生產過程中一切順利，並儘可能地為他們提供支援。”

供應商遭遇火災導致產能及庫存受損，這對ASML的光刻機交付也會產生影響，ASML公司表示今年內的光刻機交付不會有任何變化，需要幾周時間來評估這次危機對他們業務的整體影響。隨後ASML更新的宣告中強調雖然2018年的光刻機訂單交付沒問題，但是2019年初的ASML光刻機會延期交付，但延期多久上尚無訊息。

根據ASML公司早前財報中的訊息，Q3季度ASML出貨了5臺EUV光刻機，上個季度出貨7臺EUV光刻機，預計Q4季度出貨6臺EUV光刻機，全年出貨的數量將達到18臺，而2019年EUV光刻機預計出貨數量達到30臺。

ASML的EUV光刻機大客戶除了三星、臺積電及英特爾之外，國內的中芯國際SMIC今年也訂購了一臺EUV光刻機，預計會在明年初交付，不過中芯國際訂購的EUV光刻機主要用於技術研發，短時間內並沒有量產EUV工藝的需求，延期交付對中芯國際的影響並不大。

相比較而言，2019年初延期交付的EUV光刻機對臺積電、三星的影響更大，不過這也取決於ASML受到Prodrive火災的影響有多大，目前具體的災害損失還沒有結果。

光刻機是晶片生產中最為關鍵的裝置之一，而目前高階光刻機完全就是荷蘭生產商ASML的天下。而發生火災的這家元器件供應商Prodrive中文名字叫做浦卓，是ASML的元器件供應商之一，我看了一下他們的官方網站，似乎是做一些跟自動化有關的配套的。

據稱這次大火燒掉了Prodrive工廠的部分庫存和生產線【如下圖所示】，所以短時間內都無法向ASML供貨了，ASML巧婦難為無米之炊，可能要緊急尋找其他供應商來提供相關元器件。

由於ASML是著名的晶片代工廠臺積電的供貨商，所以這次的推遲交貨將會對臺積電造成很嚴重的損失，因為晶片的生產時效性非常強，一款晶片晚生產一個月，市場反應可能都會有本質上的區別。所以這下Pordrive工廠上了，連帶著下游的ASML、臺積電還有指望臺積電代工晶片的AMD、蘋果、華為等等一系列廠商都面臨了巨大的壓力。

這部分2019年年初推遲交付的光刻機具體是什麼級別的光刻機，到底是最先進的EUV（極紫外光）光刻機還是稍微差一些的DUV（深紫外光）光刻機，目前還不清楚，如果是EUV，那麼很有可能會影響到臺積電第二代7nm（N7+）工藝的研發，我們非常熟悉的華為麒麟990晶片很有可能會因此受到影響。

但是在我看來，影響相對比較大的應該還是三星，因為三星也需要ASML的EUV光刻機生產下一代7nm製程的晶片，畢竟現在三星最新的獵戶座9820還沒有使用7nm工藝，正等著明年用最新的EUV光刻機來提升工藝。麒麟/高通/蘋果這些廠商，也算是指望著臺積電已有的7nm代工能力，手裡有糧、心中不慌了。

當然了，我們的中芯國際也花了幾乎2017年全年的淨利潤（1.2億美元）買了一臺EUV光刻機，這臺光刻機預定也是在2019年年初交貨，這臺光刻機是否會受到影響也不得而知。

這可能是專利授權的結果，外國半導體廠商在7nm以後的製程需要用碳奈米管，中國擁有碳奈米管的專利。作為回報，asml必須給中國一臺EUV光刻機。

拋開真正意外不講，目的有二。

其一，為了漲價。這種情況參考三星等記憶體廠商。隔三差五顆粒廠起火，你壟斷你說了算，反正羊毛出在羊身上。

其二，也許是為了遏制中國晶片研製的速度，多拖一年多賺一年，何況不止一年。