近年來,隨著汽車電子化、智慧化和輕型化程度的不斷提高, 汽車產業對感測器的需求量也越來越大。同時, 汽車感測器作為訊號轉換和獲取裝置, 對汽車安全性、經濟性、舒適性等效能的影響也越來越重要。
微機電系統將微電子技術和精密機械加工技術融合在一起,,實現微電子與機械系統的一體化。微機電系統感測器是採用微電子和微機械加工技術製造出來的新型感測器, 其體積和能耗小, 可實現許多全新的功能, 便於大批次和高精度生產, 單件成本低,易構成大規模和多功能陣列, 這使得他們非常適合於汽車方面的應用。根據NEXU S在2009年的市場研究可知, 汽車上採用的感測器中大約1 /3 感測器採用的是微機電系統感測器, 並且汽車越高階, 採用的微機電系統感測器越多。
目前, 微機電系統感測器主要有壓力感測器、微加速度計、微機械陀螺、靜電電動機、磁力矩器、多路轉換開關和矩陣開關等。汽車上的微機電系統感測器主要應用於發動機執行管理、車輛動力學控制、自適應導航、車輛行駛安全系統、車輛監護和自診斷等方面。
微機電系統感測器按照測量性質可以分為物理微機電系統感測器、化學微機電系統感測器、生物微機電系統感測器。物理微機電系統感測器是汽車上採用得最為普遍的感測器, 基本上在汽車電子控制的各個方面都有涉及; 化學微機電系統感測器主要是指測量汽車系統中氣體成分的氣體感測器; 生物微機電系統感測器更多地應用於預測駕駛疲勞等汽車行駛安全領域。
近年來,隨著汽車電子化、智慧化和輕型化程度的不斷提高, 汽車產業對感測器的需求量也越來越大。同時, 汽車感測器作為訊號轉換和獲取裝置, 對汽車安全性、經濟性、舒適性等效能的影響也越來越重要。
微機電系統將微電子技術和精密機械加工技術融合在一起,,實現微電子與機械系統的一體化。微機電系統感測器是採用微電子和微機械加工技術製造出來的新型感測器, 其體積和能耗小, 可實現許多全新的功能, 便於大批次和高精度生產, 單件成本低,易構成大規模和多功能陣列, 這使得他們非常適合於汽車方面的應用。根據NEXU S在2009年的市場研究可知, 汽車上採用的感測器中大約1 /3 感測器採用的是微機電系統感測器, 並且汽車越高階, 採用的微機電系統感測器越多。
目前, 微機電系統感測器主要有壓力感測器、微加速度計、微機械陀螺、靜電電動機、磁力矩器、多路轉換開關和矩陣開關等。汽車上的微機電系統感測器主要應用於發動機執行管理、車輛動力學控制、自適應導航、車輛行駛安全系統、車輛監護和自診斷等方面。
微機電系統感測器按照測量性質可以分為物理微機電系統感測器、化學微機電系統感測器、生物微機電系統感測器。物理微機電系統感測器是汽車上採用得最為普遍的感測器, 基本上在汽車電子控制的各個方面都有涉及; 化學微機電系統感測器主要是指測量汽車系統中氣體成分的氣體感測器; 生物微機電系統感測器更多地應用於預測駕駛疲勞等汽車行駛安全領域。