【ICP可用作質譜儀的離子化器】ICP-MS，中文名稱是：電感耦合等離子體質譜。可用作質譜儀的離子化器（離子源）。ICP-MS所用電離源是感應耦合等離子體（ICP），它與原子發射光譜儀所用的ICP是一樣的，其主體是一個由三層石英套管組成的炬管，炬管上端繞有負載線圈，三層管從裡到外分別通載氣，輔助氣和冷卻氣，負載線圈由高頻電源耦合供電，產生垂直於線圈平面的磁場。如果透過高頻裝置使氬氣電離，則氬離子和電子在電磁場作用下又會與其它氬原子碰撞產生更多的離子和電子，形成渦流。強大的電流產生高溫，瞬間使氬氣形成溫度可達10000k的等離子焰炬。樣品由載氣帶入等離子體焰炬會發生蒸發、分解、激發和電離，輔助氣用來維持等離子體，需要量大約為1L/min。冷卻氣以切線方向引入外管，產生螺旋形氣流，使負載線圈處外管的內壁得到冷卻，冷卻氣流量為10-15L/min。【質譜】又叫質譜法，是一種與光譜並列的譜學方法，通常意義上是指廣泛應用於各個學科領域中透過製備、分離、檢測氣相離子來鑑定化合物的一種專門技術。質譜法在一次分析中可提供豐富的結構資訊，將分離技術與質譜法相結合是分離科學方法中的一項突破性進展。在眾多的分析測試方法中，質譜學方法被認為是一種同時具備高特異性和高靈敏度且得到了廣泛應用的普適性方法。質譜儀器一般由樣品匯入系統、離子源（離子化器）、質量分析器、檢測器、資料處理系統等部分組成。