乾熱滅菌主要是在高溫環境下，透過氧化作用而使微生物死亡。溼熱滅菌是透過不可逆地破壞微生物體內的酶蛋白、結構蛋白和核酸，引起蛋白質凝固變性而導致微生物死亡。溼熱的殺菌能力比干熱強。

乾熱消毒滅菌和溼熱消毒滅菌雖然都是利用熱的作用殺菌，但因其性質與傳導介質不同而有如下區別：

(1)殺菌能力不同：乾熱較差，溼熱較強；

(2)加熱介質不同：乾熱是利用空氣，溼熱是利用水或蒸汽；

(3)作用溫度不同：乾熱用溫度高，一般在160°—1800°之間。溼熱作用溫度低，在60 °—134°之間。

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同樣的溫度條件下，溼熱的滅菌效果要比干熱的要好，原因在於：

1.蛋白質凝固所需的溫度與其含水量有關，含水量越大，發生凝固所需的溫度就越低，而溼熱滅菌時的菌體蛋白質可吸收水分，因而比在同一溫度的乾熱空氣中更易於凝固；

2.溼熱滅菌過程中蒸汽會放出大量的潛能，進一步提高溫度，以同一溫度為條件，溼熱滅菌所需的時間就比干熱滅菌所需的時間要短；

3.溼熱氣體的穿透力比干熱氣體強，故此溼熱比干熱收效要好，高壓蒸汽可以殺死一切的微生物，甚至包括細菌的芽孢，真菌的孢子等耐高溫的個體。滅菌的蒸汽溫度隨蒸汽壓力增加而升高，滅菌時間可被大大縮短。