對比設計真空值和測量真空值，來判斷是否是真的漏氣。有時候，很可能在真空容器設計過程中，存在著內漏氣（virtual leak），那也會導致難以提高真空。

各個不同的真空水平有不同的檢漏方法。：

一個大氣壓到0 torr：

直接聽聲音，可以降扳手一端貼著真空容器，另一端貼近耳朵。根據聲音大小，移動扳手，尋找噪音點。一般的KF法蘭，窗上的大漏很容易透過這個方法找到。

0 torr到10^-5 torr:

用酒精或丙酮噴射到可能會漏的地方。由於漏點被酒精堵住，真空會有瞬間很明顯的變好。如果漏點比較大，酒精進入真空室內部，真空會明顯變差。

10^-4 torr 到10^-10torr:

使用四極質譜檢漏儀檢查。將檢漏儀接在分子泵的T口處，關閉機械泵，讓氣經過主分子泵後進入檢漏儀。在真空室每個可能會漏的地方慢慢得噴氦氣。氦氣的流速極小，嘴唇剛剛能感受到為宜。檢漏儀如果檢測到氦氣訊號，就能查到漏的位置了。

10^-11 torr 到10^-13 torr:

如果判斷是漏，檢測的難度比較大。已經到了檢漏儀的極限了。而且一般的封介面，焊縫多多少少存在極小的漏率。這時需要真空室有剩餘氣體分析儀。然後將懷疑漏的地方用塑膠袋包裹，並通入氦氣。等待後，看氦氣在剩餘氣體分析儀裡的訊號變化。然後逐個位置仔細檢查。