空氣中的氧氣分子在吸收了185nm波長的紫外光後也會產生臭氧和原子氧。（空氣中的氧電離產生臭氧）

紫外線燈光清洗技術是利用有機化合物的光敏氧化作用達到去除黏附在材料表面上的有機物質，經過光清洗後的材料表面可以達到"原子清潔度"。

UV光源發射波長為185nm和254nm的光波，具有很高的能量，當這些光子作用到被清洗物體表面時，由於大多數碳氫化合物對185nm波長的紫外光具有較強的吸收能力，並在吸收185nm波長的紫外光的能量後分解成離子、遊離態原子、受激分子和中子，這就是所謂光敏作用。

空氣中的氧氣分子在吸收了185nm波長的紫外光後也會產生臭氧和原子氧。臭氧對254nm波長的紫外光 同樣具有強烈的吸收作用，臭氧又分解為原子氧和氧氣。

1、紫外線的消毒原理

利用紫外線照射,使菌體蛋白髮生光解、變性,菌體的氨基酸、核酸、酶遭到破壞死亡。同時紫外線透過空氣時,使空氣中的氧電離產生臭氧,加強了殺菌作用。

2、紫外線的消毒方法

紫外線多用於空氣及物體表面的消毒,波長2573A。用於空氣消毒,有效距離不超過Zm,照射時間30~60min,用於物品消毒,有效距離在25~60cm,照射時間20一30min,從燈亮5一7min開始計時(燈亮需要預熱一定時間,才能使空氣中的氧電離產生臭氧)。

細菌、病毒、有機物等有害物質與臭氧發生化學反應，臭氧依附在菌體表面，臭氧的強氧化性質將菌體細胞壁氧化分解，破壞菌體的細胞壁，細胞整體被氧化分解。臭氧的滅菌率高達百分之99.9以上!

臭氧對病毒的滅活機理：　　

臭氧發生器是製取臭氧的裝置，那麼要知道臭氧發生器的作用，就要先了解臭氧的作用! 臭氧具有消毒滅菌的功效，對病毒的作用首先是病毒的衣體殼蛋白的四條多肽鏈，並使RNA受到損傷，特別是形成它的蛋白質。

噬菌體被臭氧氧化後，電鏡觀察可見其表皮被破碎成許多碎片，從中釋放出許多核糖核酸，干擾其吸附到寄存體上。臭氧殺菌的徹底性是不容懷疑的。