系統誤差又叫做規律誤差。它是在一定的測量條件下，對同一個被測尺寸進行多次重複測量時，誤差值的大小和符號（正值或負值）保持不變；或者在條件變化時，按一定規律變化的誤差。

系統誤差的特點是測量結果向一個方向偏離，其數值按一定規律變化，具有重複性、單向性。我們應根據具體的實驗條件，系統誤差的特點，找出產生系統誤差的主要原因，採取適當措施降低它的影響。

（1）儀器誤差這是由於儀器本身的缺陷或沒有按規定條件使用儀器而造成的。如儀器的零點不準，儀器未調整好，外界環境（光線、溫度、溼度、電磁場等）對測量儀器的影響等所產生的誤差。

（2）理論誤差（方法誤差）這是由於測量所依據的理論公式本身的近似性，或實驗條件不能達到理論公式所規定的要求，或者是實驗方法本身不完善所帶來的誤差。例如熱學實驗中沒有考慮散熱所導致的熱量損失，伏安法測電阻時沒有考慮電錶內阻對實驗結果的影響等。

（3）個人誤差這是由於觀測者個人感官和運動器官的反應或習慣不同而產生的誤差，它因人而異，並與觀測者當時的精神狀態有關。

隨機誤差（又稱偶然誤差）是指測量結果與同一待測量的大量重複測量的平均結果之差。

其產生因素十分複雜，如電磁場的微變，零件的摩擦、間隙，熱起伏，空氣擾動，氣壓及溼度的變化，測量人員的感覺器官的生理變化等，以及它們的綜合影響都可以成為產生隨機誤差的因素。

隨機誤差具有以下規律：

（1）單峰性：絕對值小的誤差出現的機率比絕對值大的誤差出現的機率大。

（2）對稱性：絕對值相等的正誤差和負誤差出現的機率相等。

（3）有界性：絕對值很大的誤差出現的機率近於零。誤差的絕對值不會超過某一個界限。

（4）抵償性：在一定測量條件下，測量值誤差的算術平均值隨著測量次數的增加而趨於零。