具有以下應用:
半導氣體感測器
這種型別的感測器在氣體感測器中約佔60%,根據其機理分為電導型和非電導型,電導型中又分為表面型和容積控制型。
(1) SnO2半導體是典型的表面型氣敏元件,其感測原理是SnO2為n 型半導體材料。當施加電壓時,半導體材科溫度升高,被吸附的氧接受了半導體中的電子形成了O2或O2原性氣體H2、CO、CH4存在時,使半導體表面電阻下降,電導上升,電導變化與氣體濃度成比倒。NiO為p型半導體,氧化性氣體使電導下降,對O2敏感。ZnO半導體感測器也屬於此種類型。
a. 電導型的感測器元件分為表面敏感型和容積控制型,表面敏感型感測材料為SnO2+Pd 、ZnO十Pt 、AgO、V2O5牎⒔鶚秈唷t —SnO2。 表面敏感型氣體感測器可檢測氣體為各種可燃性氣體CO、NO2、 氟利昂。感測材料Pt —SnO2 的氣體感測器可檢測氣體為可燃性氣體CO、H2、CH4牎?
b. 容積控制型感測材料為Fe2O8和TiO2、CO-MgO —SnO2體感測器可檢測氣體為各種可燃性氣體CO、NO2、氟利昂,感測材料Pt —SnO2。
容積控制型半導體氣體感測器可檢測氣體為液化石油氣、酒精、空燃比控制、燃燒爐氣尾氣。
(2)容積控制型的是晶格缺陷變化導致電導率變化,電導變化與氣體濃度成比例關係。
Fe2O8、TiO2屬於此種,對可燃性氣體敏感。
(3)熱線性感測器,是利用熱導率變化的半導體感測器,又稱熱線性半導體感測器,是在Pt 絲線圈上塗敷SnO2層,Pt絲除起加熱作用外,還有檢測溫度變化的功能。施加電壓半導體變熱,表面吸氧,使自由電子濃度下降,可燃性氣體存在時,由於燃燒耗掉氧自由電子濃度增大,導熱率隨自由電子濃度增加而增大,散熱率相應增高,使Pt 絲溫度下降,阻值減小,P t絲阻值變化與氣體濃度為線性關係。
這種感測器體積小、穩定、抗毒,可檢測低濃度氣體,在可燃氣體檢測中有重要作用。
(4)非電導型的FET場效應電晶體氣體感測器,Pd —FET.場效應電晶體感測器,利用Pd 吸收H z 並擴散達到半導體Si 和Pd的介面,減少Pd 的功函,這種對H2、CO敏感。非電導型FET場效應電晶體氣體感測器體積小,便於整合化,多功能,是具有發展前途的氣體感測器
具有以下應用:
半導氣體感測器
這種型別的感測器在氣體感測器中約佔60%,根據其機理分為電導型和非電導型,電導型中又分為表面型和容積控制型。
(1) SnO2半導體是典型的表面型氣敏元件,其感測原理是SnO2為n 型半導體材料。當施加電壓時,半導體材科溫度升高,被吸附的氧接受了半導體中的電子形成了O2或O2原性氣體H2、CO、CH4存在時,使半導體表面電阻下降,電導上升,電導變化與氣體濃度成比倒。NiO為p型半導體,氧化性氣體使電導下降,對O2敏感。ZnO半導體感測器也屬於此種類型。
a. 電導型的感測器元件分為表面敏感型和容積控制型,表面敏感型感測材料為SnO2+Pd 、ZnO十Pt 、AgO、V2O5牎⒔鶚秈唷t —SnO2。 表面敏感型氣體感測器可檢測氣體為各種可燃性氣體CO、NO2、 氟利昂。感測材料Pt —SnO2 的氣體感測器可檢測氣體為可燃性氣體CO、H2、CH4牎?
b. 容積控制型感測材料為Fe2O8和TiO2、CO-MgO —SnO2體感測器可檢測氣體為各種可燃性氣體CO、NO2、氟利昂,感測材料Pt —SnO2。
容積控制型半導體氣體感測器可檢測氣體為液化石油氣、酒精、空燃比控制、燃燒爐氣尾氣。
(2)容積控制型的是晶格缺陷變化導致電導率變化,電導變化與氣體濃度成比例關係。
Fe2O8、TiO2屬於此種,對可燃性氣體敏感。
(3)熱線性感測器,是利用熱導率變化的半導體感測器,又稱熱線性半導體感測器,是在Pt 絲線圈上塗敷SnO2層,Pt絲除起加熱作用外,還有檢測溫度變化的功能。施加電壓半導體變熱,表面吸氧,使自由電子濃度下降,可燃性氣體存在時,由於燃燒耗掉氧自由電子濃度增大,導熱率隨自由電子濃度增加而增大,散熱率相應增高,使Pt 絲溫度下降,阻值減小,P t絲阻值變化與氣體濃度為線性關係。
這種感測器體積小、穩定、抗毒,可檢測低濃度氣體,在可燃氣體檢測中有重要作用。
(4)非電導型的FET場效應電晶體氣體感測器,Pd —FET.場效應電晶體感測器,利用Pd 吸收H z 並擴散達到半導體Si 和Pd的介面,減少Pd 的功函,這種對H2、CO敏感。非電導型FET場效應電晶體氣體感測器體積小,便於整合化,多功能,是具有發展前途的氣體感測器