高純六氟化硫在常溫常壓條件下為氣態，溫度降低後在定的壓力作用下較易液化為液態。當環境溫度升高後，其對應的液化壓力相應升高，成為不易液化的氣體。當溫度超過SF6的臨界溫度45.55℃時，就元法使其液化。 又因為高純六氟化硫為惰性氣體，與油不相溶，所以可以比較容易地分離出所混入的油分。採用際先進技術，濾油水平已達到與無油系統相娘美的程度，可以相當徹底地清除油分。
目前，在際上高純六氟化硫回收充氣裝置的回收儲存原理主要有兩種，種採用冷凍液化法原理：即在SF6氣體回收的過程中，在定的SF6氣體壓力下，利用製冷機組使SF6氣體溫度降低至該壓力下的飽和蒸汽溫度，SF6氣體開始液化為液體，並以液體形式進行儲存，優點是回收速度快、液化速度快。
另種是採用高壓液化法原理，即在高純六氟化硫回收的過程中，在當時的環境溫度下，利用壓縮機將SF6氣體壓力提高至該溫度下的飽和蒸汽壓力，SF6氣體開始轉化為液體，並以液體形式進行儲存。 六氟化硫回收淨化裝置的優點是系統簡單，缺點是系統工作壓力高，回收率低，當SF6氣體溫度(SF6氣體經壓縮機壓縮後溫度可達到80℃以上)超過臨界溫度45.55℃時，就無法使其液化，此時高溫高壓的SF6氣體只能經過段時間後待其溫度降至臨界溫度以下時才能液化。
高純六氟化硫在常溫常壓條件下為氣態，溫度降低後在定的壓力作用下較易液化為液態。當環境溫度升高後，其對應的液化壓力相應升高，成為不易液化的氣體。當溫度超過SF6的臨界溫度45.55℃時，就元法使其液化。 又因為高純六氟化硫為惰性氣體，與油不相溶，所以可以比較容易地分離出所混入的油分。採用際先進技術，濾油水平已達到與無油系統相娘美的程度，可以相當徹底地清除油分。
目前，在際上高純六氟化硫回收充氣裝置的回收儲存原理主要有兩種，種採用冷凍液化法原理：即在SF6氣體回收的過程中，在定的SF6氣體壓力下，利用製冷機組使SF6氣體溫度降低至該壓力下的飽和蒸汽溫度，SF6氣體開始液化為液體，並以液體形式進行儲存，優點是回收速度快、液化速度快。
另種是採用高壓液化法原理，即在高純六氟化硫回收的過程中，在當時的環境溫度下，利用壓縮機將SF6氣體壓力提高至該溫度下的飽和蒸汽壓力，SF6氣體開始轉化為液體，並以液體形式進行儲存。 六氟化硫回收淨化裝置的優點是系統簡單，缺點是系統工作壓力高，回收率低，當SF6氣體溫度(SF6氣體經壓縮機壓縮後溫度可達到80℃以上)超過臨界溫度45.55℃時，就無法使其液化，此時高溫高壓的SF6氣體只能經過段時間後待其溫度降至臨界溫度以下時才能液化。