臭氧可透過高壓放電、電暈放電、化學等方法獲得。

利用高壓電離（或化學、光化學反應），使空氣中的部分氧氣分解聚合為臭氧，是氧的同素異形轉變過程；亦可利用電解水法獲得。臭氧的不穩定性使其很難實現瓶裝貯存 ，一般只能利用臭氧發生器現場生產，隨產隨用。

按臭氧產生的方式劃分，目前的臭氧發生器主要有三種：一是高壓放電式，二是紫外線照射式，三是電解式。

高壓放電式發生器是使用一定頻率的高壓電流製造高壓電暈電場，使電場內或電場周圍的氧分子發生電化學反應，從而製造臭氧。這種臭氧發生器具有技術成熟、工作穩定、使用壽命長、臭氧產量大（單機可達1Kg/h）等優點，所以是國內外相關行業使用最廣泛的臭氧發生器。

紫外線式臭氧發生器是使用特定波長（185nm）的紫外線照射氧分子，使氧分子分解而產生臭氧。由於紫外線燈管體積大、臭氧產量低、使用壽命短，所以這種發生器使用範圍較窄，常見於消毒碗櫃上使用。三、電解式發生器通常是透過電解純淨水而產生臭氧。這種發生器能製取高濃度的臭氧水，製造成本低，使用和維修簡單。但由於有臭氧產量無法做大、電極使用壽命短、臭氧不容易收集等方面的缺點，其用途範圍受到限制。目前這種發生器只是在一些特定的小型裝置上或某些特定場所內使用，不具備取代高壓放電式發生器的條件。

電解式臭氧發生器電解式發生器通常是透過電解純淨水而產生臭氧。這種發生器能製取高濃度的臭氧水，製造成本低，使用和維修簡單。但由於有臭氧產量無法做大、電極使用壽命短、臭氧不容易收集等方面的缺點，其用途範圍受到限制。目前這種發生器只是在一些特定的小型裝置上或某些特定場所內使用，不具備取代高壓放電式發生器的條件。