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  • 1 # 創房間號還完就回去

    外延片→清洗→鍍透明電極層→透明電極圖形光刻→腐蝕→去膠→平臺圖形光刻→幹法刻蝕→去膠→退火→SiO2沉積→視窗圖形光刻→SiO2腐蝕→去膠→N極圖形光刻→預清洗→鍍膜→剝離→退火→P極圖形光刻→鍍膜→剝離→研磨→切割→晶片→成品測試。其實外延片的生產製作過程是非常複雜的,在展完外延片後,下一步就開始對LED外延片做電極(P極,N極),接著就開始用鐳射機切割LED外延片(以前切割LED外延片主要用鑽石刀),製造成晶片後,在晶圓上的不同位置抽取九個點做引數測試.

    1、 主要對電壓、波長、亮度進行測試,能符合正常出貨標準引數的晶圓片再繼續做下一步的操作,如果這九點測試不符合相關要求的晶圓片,就放在一邊另外處理。

    2、 晶圓切割成晶片後,100%的目檢(VI/VC),操作者要使用放大30倍數的顯微鏡下進行目測。

    3、 接著使用全自動分類機根據不同的電壓,波長,亮度的預測引數對晶片進行全自動化挑選、測試和分類。

    4、 最後對LED晶片進行檢查(VC)和貼標籤。晶片區域要在藍膜的中心,藍膜上最多有5000粒晶片,但必須保證每張藍膜上晶片的數量不得少於1000粒,晶片型別、批號、數量和光電測量統計資料記錄在標籤上,附在蠟光紙的背面。藍膜上的晶片將做最後的目檢測試與第一次目檢標準相同,確保晶片排列整齊和質量合格。這樣就製成LED晶片(目前市場上統稱方片)。在LED晶片製作過程中,把一些有缺陷的或者電極有磨損的晶片,分撿出來,這些就是後面的散晶,此時在藍膜上有一些不符合正常出貨要求的晶片,也就自然成了邊片或毛片等。剛才談到在晶圓上的不同位置抽取九個點做引數測試,對於不符合相關要求的晶圓片作另外處理,這些晶圓片是不能直接用來做LED方片,也就不做任何分檢了,直接賣給客戶了,也就是目前市場上的LED大圓片(但是大圓片裡也有好東西,如方片)。

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