公元260年，司馬昭被封為相國，晉公，權勢益盛，但此時吳蜀尚在。魏帝曹髦看不慣司馬昭飛揚跋扈，日益專權，隨即下令頒發討賊詔書，要求各地諸侯前來討伐司馬昭，但詔書剛寫完，就被發現了，曹髦乾脆帶領宮廷守衛，太監等一干人直接去討伐司馬昭，被司馬家的忠實走狗賈充攔在了皇宮南門，最後被賈充的手下成濟弒殺。

此時，司馬昭是想代魏自立的，但發生了弒殺皇帝這種事，很難服眾，只得推出成濟當了替罪羊，誅殺全族。這就是司馬昭之心，路人皆知；雖有心稱帝，然不利人和。在奉儒家為正統的時代，揹負弒君惡名，終歸得國不正，只能繼續隱忍以待時機，遂立魏宗室常道鄉公璜(燕王曹宇之子)為帝，更名曹奐，即魏元帝。

三年後，也就是公元263年底，司馬昭滅蜀，次年，被封為晉王。此時的司馬昭功績、地位、威望達到人臣頂峰，開始了一系列的篡位籌備，但司馬昭的身體也一天不如一天了。在籌備了一年左右的時間，司馬昭的身體終於撐不住了，265年八月，撒手人寰，去找他的老爹司馬懿去了。 其子司馬炎繼晉王、相國，由於準備工作已經基本就緒，同年12月，司馬炎即逼魏元帝曹奐禪位，重複了以魏代漢的故事？

綜上，司馬昭不是不想稱帝，一是時機不太成熟，最好是滅吳以後再稱帝。二是身體條件也不允許，沒他老爹司馬懿活的長，否則有生之年必然稱帝。

司馬昭當然想自己活著的時候就完成取代曹魏的程序，篡位稱帝，只是自己命不好，程式還沒走完就死了。

正元二年（255年），司馬懿的繼承人，司馬昭的哥哥司馬師在討伐毌丘儉時，遭遇文鴦帶兵襲營。本來就有嚴重眼疾的司馬師驚嚇過度，眼珠被震出眼眶，不久死去。司馬師只有一個兒子司馬攸（過繼的司馬昭的兒子），年僅7歲，只能讓年長的司馬昭繼承司馬師的位置。

（司馬師）

甘露三年（258年），司馬昭成功諸葛誕在淮南的叛亂，基本消滅了曹魏政權內部反對司馬家的勢力，司馬昭篡位的條件已經基本具備。

司馬昭開始了篡位的程序。就在平定諸葛誕後的這一年五月，曹髦被迫下詔封司馬昭為晉公，加九錫，設定晉國，司馬昭假意推辭，改為增加司馬昭封邑一萬戶，食三縣租稅。此時諸葛誕之亂的影響還沒徹底消除，司馬昭還需要繼續穩定局勢，讓皇帝下令給自己加九錫又推辭，只是個政治姿態。甘露五年（景元元年，260年）四月，曹髦被迫再次下詔加封司馬昭為晉公，加九錫。司馬昭又一次假意推辭。司馬昭的篡位，這時候已經基本成熟了，沒有意外的話就只是個程式問題，一兩年內就會走完程式。司馬昭之心，路人皆知，說的就是這是的情形。

甘露五年（景元元年，260年）五月初七，剛烈的曹魏傀儡皇帝曹髦親自率領數百宿衛僕從去誅殺司馬昭，寧為玉碎，不為瓦全。曹髦的英勇行為結果毫無懸念的以卵擊石，曹髦本人也被賈充命令下的成濟殺死。

（曹髦）

曹髦的行動雖然沒有成功，但司馬昭公開弒君的行為也造成了非常惡劣的政治影響。即使司馬家的同黨們，多數也很難接受這種公開弒君的惡劣行為，紛紛要求殺賈充以謝天下。司馬昭保下了賈充，只誅殺成濟兄弟並夷滅三族。司馬昭篡位的程序，也暫時中止。

景元四年（263年），司馬昭欲取得功業繼續篡位過程，在多數大臣（包括鄧艾）強烈反對的情況下發動了滅蜀之戰。滅蜀之戰意外的取得了完全的成功，司馬昭的篡位程序再度開啟。

（司馬昭）

景元五年（264年）三月三十日，魏帝曹奐被迫下詔拜司馬昭為相國，封為晉王，加九錫。此時滅蜀之戰和後續的鐘會叛亂剛剛被處理完，司馬昭就迫不及待的開始走篡位程式。

可惜的是，司馬昭註定沒有生前做皇帝的命，篡位程式還沒走完自己就死掉了。鹹熙二年（265年）八月，司馬昭病死。

司馬昭死後，兒子司馬炎繼承了司馬昭的位置。在司馬昭僅僅死了4個月後，司馬炎最終完成了篡位程式。鹹熙二年（265年）十二月，魏帝曹奐被迫禪位給司馬炎，司馬炎篡位稱帝，建立了西晉王朝。