對於製作LED晶片來說，襯底材料的選用是首要考慮的問題。應該採用哪種合適的襯底，需要根據裝置和LED器件的要求進行選擇。
目前市面上一般有三種材料可作為襯底： 藍寶石（Al2O3）、矽 (Si) 、碳化矽（SiC）
藍寶石襯底
通常，GaN基材料和器件的外延層主要生長在藍寶石襯底上。藍寶石襯底有許多的優點：首先， 藍寶石襯底的生產技術成熟、器件質量較好；其次，藍寶石的穩定性很好，能夠運用在高溫生長過程中；最後，藍寶石的機械強度高，易於處理和清洗。因此，大多 數工藝一般都以藍寶石作為襯底。圖1示例了使用藍寶石襯底做成的LED晶片。
矽襯底
目前有部分LED晶片採用矽襯底。矽襯底的晶片電極可採用兩種接觸方式，分別是L接觸（Laterial-contact , 水平接觸）和V接觸（Vertical-contact，垂直接觸），以下簡稱為L型電極和V型電極。透過這兩種接觸方式，LED晶片內部的電流可以是橫向流動的，也可以是縱向流動的。由於電流可以縱向流動，因此增大了LED的發光面積，從而提高了LED的出光效率。因為矽是熱的良導體，所以器件的導熱性 能可以明顯改善，從而延長了器件的壽命。
碳化矽襯底
碳化矽襯底（美國的CREE公司專門採用SiC材料作為襯底）的LED晶片電極是L型電極，電流是縱向流動的。採用這種襯底製作的器件的導電和導熱效能都非常好，有利於做成面積較大的大功率器件。採用碳化矽襯底的LED芯碳化矽襯底的導熱效能（碳化矽的導熱係數為490W/(m·K)）要比藍寶石襯底高出10倍 以上。藍寶石本身是熱的不良導體，並且在製作器件時底部需要使用銀膠固晶，這種銀膠的傳熱效能也很差。使用碳化矽襯底的晶片電極為L型，兩個電極分佈在器 件的表面和底部，所產生的熱量可以透過電極直接匯出；同時這種襯底不需要電流擴散層，因此光不會被電流擴散層的材料吸收，這樣又提高了出光效率。但是相對 於藍寶石襯底而言，碳化矽製造成本較高，實現其商業化還需要降低相應的成本。
對於製作LED晶片來說，襯底材料的選用是首要考慮的問題。應該採用哪種合適的襯底，需要根據裝置和LED器件的要求進行選擇。
目前市面上一般有三種材料可作為襯底： 藍寶石（Al2O3）、矽 (Si) 、碳化矽（SiC）
藍寶石襯底
通常，GaN基材料和器件的外延層主要生長在藍寶石襯底上。藍寶石襯底有許多的優點：首先， 藍寶石襯底的生產技術成熟、器件質量較好；其次，藍寶石的穩定性很好，能夠運用在高溫生長過程中；最後，藍寶石的機械強度高，易於處理和清洗。因此，大多 數工藝一般都以藍寶石作為襯底。圖1示例了使用藍寶石襯底做成的LED晶片。
矽襯底
目前有部分LED晶片採用矽襯底。矽襯底的晶片電極可採用兩種接觸方式，分別是L接觸（Laterial-contact , 水平接觸）和V接觸（Vertical-contact，垂直接觸），以下簡稱為L型電極和V型電極。透過這兩種接觸方式，LED晶片內部的電流可以是橫向流動的，也可以是縱向流動的。由於電流可以縱向流動，因此增大了LED的發光面積，從而提高了LED的出光效率。因為矽是熱的良導體，所以器件的導熱性 能可以明顯改善，從而延長了器件的壽命。
碳化矽襯底
碳化矽襯底（美國的CREE公司專門採用SiC材料作為襯底）的LED晶片電極是L型電極，電流是縱向流動的。採用這種襯底製作的器件的導電和導熱效能都非常好，有利於做成面積較大的大功率器件。採用碳化矽襯底的LED芯碳化矽襯底的導熱效能（碳化矽的導熱係數為490W/(m·K)）要比藍寶石襯底高出10倍 以上。藍寶石本身是熱的不良導體，並且在製作器件時底部需要使用銀膠固晶，這種銀膠的傳熱效能也很差。使用碳化矽襯底的晶片電極為L型，兩個電極分佈在器 件的表面和底部，所產生的熱量可以透過電極直接匯出；同時這種襯底不需要電流擴散層，因此光不會被電流擴散層的材料吸收，這樣又提高了出光效率。但是相對 於藍寶石襯底而言，碳化矽製造成本較高，實現其商業化還需要降低相應的成本。