觀察奈米材料
所謂奈米材料就是指組成材料的顆粒或微晶尺寸在0.1-100nm範圍內,在保 掃描電鏡持表面潔淨的條件下加壓成型而得到的固體材料。奈米材料具有許多與晶體、非晶態不同的、獨特的物理化學性質。奈米材料有著廣闊的發展前景,將成為未來材料研究的重點方向。掃描電鏡的一個重要特點就是具有很高的解析度。現已廣泛用於觀察奈米材料。
材料斷口的分析
掃描電鏡的另一個重要特點是景深大,圖象富立體感。掃描電鏡的焦深比透射電子顯微鏡大10倍,比光學顯微鏡大幾百倍。由於圖象景深大,故所得掃描電子象富有立體感,具有三維形態,能夠提供比其他顯微鏡多得多的資訊,這個特點對使用者很有價值。掃描電鏡所顯示的斷口形貌從深層次,高景深的角度呈現材料斷裂的本質,在教學、科研和生產中,有不可替代的作用,在材料斷裂原因的分析、事故原因的分析以及工藝合理性的判定等方面是一個強有力的手段。
直接觀察原始表面
它能夠直接觀察直徑100mm,高50mm,或更大尺寸的試樣,對試樣的形狀沒有任何限制,粗糙表面也能觀察,這便免除了製備樣品的麻煩,而且能真實觀察試樣本身物質成分不同的襯度(背反射電子象)。
觀察厚試樣
其在觀察厚試樣時,能得到高的解析度和最真實的形貌。掃描電子顯微的解析度介於光學顯微鏡和透射電子顯微鏡之間,但在對厚塊試樣的觀察進行比較時,因為在透射電子顯微鏡中還要採用復膜方法,而復膜的解析度通常只能達到10nm,且觀察的不是試樣本身。因此,用掃描電鏡觀察厚塊試樣更有利,更能得到真實的試樣表面資料。
觀察各個區域的細節
試樣在樣品室中可動的範圍非常大,其他方式顯微鏡的工作距離通常只有2-3cm,故實際上只許可試樣在兩度空間內運動,但在掃描電鏡中則不同。由於工作距離大(可大於20mm)。焦深大(比透射電子顯微鏡大10倍)。樣品室的空間也大。因此,可以讓試樣在三度空間內有6個自由度運動(即三度空間平移、三度空間旋轉)。且可動範圍大,這對觀察不規則形狀試樣的各個區域帶來極大的方便。
大視場低放大倍數觀察
用掃描電鏡觀察試樣的視場大。在掃描電鏡中,能同時觀察試樣的視場範圍F由下式來確定:F=L/M式中 F——視場範圍;M——觀察時的放大倍數;L——映象管的熒光屏尺寸。若掃描電鏡採用30cm(12英寸)的映象管,放大倍數15倍時,其視場範圍可達20mm,大視場、低倍數觀察樣品的形貌對有些領域是很必要的,如刑事偵察和考古。
從高到低倍的連續觀察
放大倍數的可變範圍很寬,且不用經常對焦。掃描電鏡的放大倍數範圍很寬(從5到20萬倍連續可調),且一次聚焦好後即可從高倍到低倍、從低倍到高倍連續觀察,不用重新聚焦,這對進行事故分析特別方便。
觀察生物試樣
因電子照射而發生試樣的損傷和汙染程度很小。同其他方式的電子顯微鏡比較,因為觀察時所用的電子探針電流小(一般約為10-10 -10-12A)電子探針的束斑尺寸小(通常是5nm到幾十奈米),電子探針的能量也比較小(加速電壓可以小到2kV)。而且不是固定一點照射試樣,而是以光柵狀掃描方式照射試樣。因此,由於電子照射面發生試樣的損傷和汙染程度很小,這一點對觀察一些生物試樣特別重要。
進行動態觀察
在掃描電鏡中,成象的資訊主要是電子資訊,根據近代的電子工業技術水平,即使高速變化的電子資訊,也能毫不困難的及時接收、處理和儲存,故可進行一些動態過程的觀察,如果在樣品室內裝有加熱、冷卻、彎曲、拉伸和離子刻蝕等附件,則可以透過電視裝置,觀察相變、斷裂等動態的變化過程。
從形貌獲得資料
在掃描電鏡中,不僅可以利用入射電子和試樣相互作用產生各種資訊來成象,而且可以透過訊號處理方法,獲得多種圖象的特殊顯示方法,還可以從試樣的表面形貌獲得多方面資料。因為掃描電子象不是同時記錄的,它是分解為近百萬個逐次依此記錄構成的。因而使得掃描電鏡除了觀察表面形貌外還能進行成分和元素的分析,以及透過電子通道花樣進行結晶學分析,選區尺寸可以從10μm到3μm。
由於掃描電鏡具有上述特點和功能,所以越來越受到科研人員的重視,用途日益廣泛。現在掃描電鏡已廣泛用於材料科學(金屬材料、非金屬材料、奈米材料)、冶金、生物學、醫學、半導體材料與器件、地質勘探、病蟲害的防治、災害(火災、失效分析)鑑定、刑事偵察、寶石鑑定、工業生產中的產品質量鑑定及生產工藝控制等。
觀察奈米材料
所謂奈米材料就是指組成材料的顆粒或微晶尺寸在0.1-100nm範圍內,在保 掃描電鏡持表面潔淨的條件下加壓成型而得到的固體材料。奈米材料具有許多與晶體、非晶態不同的、獨特的物理化學性質。奈米材料有著廣闊的發展前景,將成為未來材料研究的重點方向。掃描電鏡的一個重要特點就是具有很高的解析度。現已廣泛用於觀察奈米材料。
材料斷口的分析
掃描電鏡的另一個重要特點是景深大,圖象富立體感。掃描電鏡的焦深比透射電子顯微鏡大10倍,比光學顯微鏡大幾百倍。由於圖象景深大,故所得掃描電子象富有立體感,具有三維形態,能夠提供比其他顯微鏡多得多的資訊,這個特點對使用者很有價值。掃描電鏡所顯示的斷口形貌從深層次,高景深的角度呈現材料斷裂的本質,在教學、科研和生產中,有不可替代的作用,在材料斷裂原因的分析、事故原因的分析以及工藝合理性的判定等方面是一個強有力的手段。
直接觀察原始表面
它能夠直接觀察直徑100mm,高50mm,或更大尺寸的試樣,對試樣的形狀沒有任何限制,粗糙表面也能觀察,這便免除了製備樣品的麻煩,而且能真實觀察試樣本身物質成分不同的襯度(背反射電子象)。
觀察厚試樣
其在觀察厚試樣時,能得到高的解析度和最真實的形貌。掃描電子顯微的解析度介於光學顯微鏡和透射電子顯微鏡之間,但在對厚塊試樣的觀察進行比較時,因為在透射電子顯微鏡中還要採用復膜方法,而復膜的解析度通常只能達到10nm,且觀察的不是試樣本身。因此,用掃描電鏡觀察厚塊試樣更有利,更能得到真實的試樣表面資料。
觀察各個區域的細節
試樣在樣品室中可動的範圍非常大,其他方式顯微鏡的工作距離通常只有2-3cm,故實際上只許可試樣在兩度空間內運動,但在掃描電鏡中則不同。由於工作距離大(可大於20mm)。焦深大(比透射電子顯微鏡大10倍)。樣品室的空間也大。因此,可以讓試樣在三度空間內有6個自由度運動(即三度空間平移、三度空間旋轉)。且可動範圍大,這對觀察不規則形狀試樣的各個區域帶來極大的方便。
大視場低放大倍數觀察
用掃描電鏡觀察試樣的視場大。在掃描電鏡中,能同時觀察試樣的視場範圍F由下式來確定:F=L/M式中 F——視場範圍;M——觀察時的放大倍數;L——映象管的熒光屏尺寸。若掃描電鏡採用30cm(12英寸)的映象管,放大倍數15倍時,其視場範圍可達20mm,大視場、低倍數觀察樣品的形貌對有些領域是很必要的,如刑事偵察和考古。
從高到低倍的連續觀察
放大倍數的可變範圍很寬,且不用經常對焦。掃描電鏡的放大倍數範圍很寬(從5到20萬倍連續可調),且一次聚焦好後即可從高倍到低倍、從低倍到高倍連續觀察,不用重新聚焦,這對進行事故分析特別方便。
觀察生物試樣
因電子照射而發生試樣的損傷和汙染程度很小。同其他方式的電子顯微鏡比較,因為觀察時所用的電子探針電流小(一般約為10-10 -10-12A)電子探針的束斑尺寸小(通常是5nm到幾十奈米),電子探針的能量也比較小(加速電壓可以小到2kV)。而且不是固定一點照射試樣,而是以光柵狀掃描方式照射試樣。因此,由於電子照射面發生試樣的損傷和汙染程度很小,這一點對觀察一些生物試樣特別重要。
進行動態觀察
在掃描電鏡中,成象的資訊主要是電子資訊,根據近代的電子工業技術水平,即使高速變化的電子資訊,也能毫不困難的及時接收、處理和儲存,故可進行一些動態過程的觀察,如果在樣品室內裝有加熱、冷卻、彎曲、拉伸和離子刻蝕等附件,則可以透過電視裝置,觀察相變、斷裂等動態的變化過程。
從形貌獲得資料
在掃描電鏡中,不僅可以利用入射電子和試樣相互作用產生各種資訊來成象,而且可以透過訊號處理方法,獲得多種圖象的特殊顯示方法,還可以從試樣的表面形貌獲得多方面資料。因為掃描電子象不是同時記錄的,它是分解為近百萬個逐次依此記錄構成的。因而使得掃描電鏡除了觀察表面形貌外還能進行成分和元素的分析,以及透過電子通道花樣進行結晶學分析,選區尺寸可以從10μm到3μm。
由於掃描電鏡具有上述特點和功能,所以越來越受到科研人員的重視,用途日益廣泛。現在掃描電鏡已廣泛用於材料科學(金屬材料、非金屬材料、奈米材料)、冶金、生物學、醫學、半導體材料與器件、地質勘探、病蟲害的防治、災害(火災、失效分析)鑑定、刑事偵察、寶石鑑定、工業生產中的產品質量鑑定及生產工藝控制等。