1、細菌生長；細菌和其他生物汙染(黴菌，病毒，真菌，蟎蟲)在相對溼度超過60%的環境中可以活躍地繁殖。一些菌群在相對溼度超過30%時就可以增長。在相對溼度處於40%至60%的範圍之間時，可以使細菌的影響以及呼吸道感染降至最低。
2、工作人員感到室溫舒適的範圍；相對溼度在40%至60%的範圍同樣也是人類感覺舒適的適度範圍。溼度過高會使人覺得氣悶，而溼度低於30%則會讓人感覺乾燥，面板破裂，呼吸道不適以及情感上的不快。
3、出現靜電荷；高溼度實際上減小了無塵車間、潔淨室表面的靜電荷積累──這是大家希望的結果。較低的溼度比較適合電荷的積累併成為潛在的具有破壞性的靜電釋放源。當相對溼度超過50%時，靜電荷開始迅速消散，但是當相對溼度小於30%時，它們可以在絕緣體或者未接地的表面上持續存在很長一段時間。相對溼度在35%到40%之間可以作為一個令人滿意的折中，半導體無塵車間、潔淨室一般都使用額外的控制裝置以限制靜電荷的積累。
4、金屬腐蝕；很多化學反應的速度，包括腐蝕過程，將隨著相對溼度的增高而加快。所有暴露在無塵車間、潔淨室周圍空氣中的表面都很快地被覆蓋上至少一層單分子層的水。當這些表面是由可以與水反應的薄金屬塗層組成時，高溼度可以使反應加速。幸運的是，一些金屬，例如鋁，可以與水形成一層保護型的氧化物，並阻止進一步的氧化反應；但另一種情況是，例如氧化銅，是不具有保護能力的，因此，在高溼度的環境中，銅製表面更容易受到腐蝕。
1、細菌生長；細菌和其他生物汙染(黴菌，病毒，真菌，蟎蟲)在相對溼度超過60%的環境中可以活躍地繁殖。一些菌群在相對溼度超過30%時就可以增長。在相對溼度處於40%至60%的範圍之間時，可以使細菌的影響以及呼吸道感染降至最低。
2、工作人員感到室溫舒適的範圍；相對溼度在40%至60%的範圍同樣也是人類感覺舒適的適度範圍。溼度過高會使人覺得氣悶，而溼度低於30%則會讓人感覺乾燥，面板破裂，呼吸道不適以及情感上的不快。
3、出現靜電荷；高溼度實際上減小了無塵車間、潔淨室表面的靜電荷積累──這是大家希望的結果。較低的溼度比較適合電荷的積累併成為潛在的具有破壞性的靜電釋放源。當相對溼度超過50%時，靜電荷開始迅速消散，但是當相對溼度小於30%時，它們可以在絕緣體或者未接地的表面上持續存在很長一段時間。相對溼度在35%到40%之間可以作為一個令人滿意的折中，半導體無塵車間、潔淨室一般都使用額外的控制裝置以限制靜電荷的積累。
4、金屬腐蝕；很多化學反應的速度，包括腐蝕過程，將隨著相對溼度的增高而加快。所有暴露在無塵車間、潔淨室周圍空氣中的表面都很快地被覆蓋上至少一層單分子層的水。當這些表面是由可以與水反應的薄金屬塗層組成時，高溼度可以使反應加速。幸運的是，一些金屬，例如鋁，可以與水形成一層保護型的氧化物，並阻止進一步的氧化反應；但另一種情況是，例如氧化銅，是不具有保護能力的，因此，在高溼度的環境中，銅製表面更容易受到腐蝕。