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  • 1 # 甲地乙人

    TMOS的英文定義:Trench Metal-Oxide-Semiconductor Field-Effect Transistor,也叫Trench-MOSFET,中文翻譯為深槽MOS工藝技術。

    看到這裡,如果你沒有半導體基礎,你可能還是會很迷糊,那麼還得先了解下什麼是MOSFET技術。

    上面講了,MOSFET是Metal-Oxide-Semiconductor Field-Effect Transistor的縮寫,翻譯為金屬-氧化物半導體場效應電晶體,是一種可以廣泛使用在類比電路與數位電路的場效電晶體,是功率半導體器件的主體之一。MOSFET依照其“通道”(工作載流子)的極性不同,可分為“N型”與“P型” 的兩種型別,通常又稱為NMOSFET與PMOSFET。

    下圖是典型平面N溝道增強型NMOSFET的剖面圖。它用一塊P型矽半導體材料作襯底,在其面上擴散了兩個N型區,再在上面覆蓋一層二氧化矽(SiO2)絕緣層,最後在N區上方用腐蝕的方法做成兩個孔,用金屬化的方法分別在絕緣層上及兩個孔內做成三個電極:G(柵極)、S(源極)及D(漏極),如圖所示。

    上圖是常見的N溝道增強型MOSFET的基本結構圖。為了改善某些引數的特性,如提高工作電流、提高工作電壓、降低導通電阻、提高開關特性等有不同的結構及工藝,構成所謂VMOS、DMOS、TMOS等結構。而其中的TMOS管具有開關速度高、關斷延遲時間短、反偏安全工作區大,dv/dt抗擾度高、費用低廉等優點。

    介紹完了TMOS,那麼晶片研發中心的TMOS技術員,我認為主要是從事功率半導體器件(TMOSFET)的產品設計和生產工作。

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