矽片的等級:
MG-Si → SeG-Si → SoG-Si
提煉要經過一下過程:
石英砂→冶金級矽→提煉和精煉→沉積多晶矽錠→單晶矽→矽片切割。
冶金級矽MG-Si
提煉矽的原始材料是SiO2,主要是砂成分,目前採用SiO2的結晶岩即石灰岩,在大型的電弧爐中用碳還原:SiO2+2C→Si+2CO
定期倒出爐,用氧氣、氧氯混合氣體提純,然後倒入淺槽在槽中凝固,隨後被搗成塊狀。
MG-Si提純為SeG-Si
提煉標準方法為:西門子工。
MG-Si被轉變為揮發性的化合物,接著採用分餾的方法將其冷凝被提純。
工藝程式:用Hcl把細碎的MG-Si變成流體
使用催化劑加速反應進行:Si+3Hcl→SiHcl3+H2
MG-Si →SiHcl3 矽膠工業原材料
為提取MG-Si可加熱混合氣體使SiHcl3 被H2還原,矽以細晶粒的多晶矽形成沉積到電加熱棒上如右:SiHcl3+H2 →Si+3Hcl
SeG-Si提純到SoG-Si
將SeG-Si多晶矽熔融,同時加入器件所需的微量參雜劑,通常採用硼(P型參雜劑)。
在溫度可以精細控制的情況下用籽晶能夠成熔融的矽中拉出大圓柱形的單晶矽棒。直徑過125cm長度為1~2m。
矽片的等級:
MG-Si → SeG-Si → SoG-Si
提煉要經過一下過程:
石英砂→冶金級矽→提煉和精煉→沉積多晶矽錠→單晶矽→矽片切割。
冶金級矽MG-Si
提煉矽的原始材料是SiO2,主要是砂成分,目前採用SiO2的結晶岩即石灰岩,在大型的電弧爐中用碳還原:SiO2+2C→Si+2CO
定期倒出爐,用氧氣、氧氯混合氣體提純,然後倒入淺槽在槽中凝固,隨後被搗成塊狀。
MG-Si提純為SeG-Si
提煉標準方法為:西門子工。
MG-Si被轉變為揮發性的化合物,接著採用分餾的方法將其冷凝被提純。
工藝程式:用Hcl把細碎的MG-Si變成流體
使用催化劑加速反應進行:Si+3Hcl→SiHcl3+H2
MG-Si →SiHcl3 矽膠工業原材料
為提取MG-Si可加熱混合氣體使SiHcl3 被H2還原,矽以細晶粒的多晶矽形成沉積到電加熱棒上如右:SiHcl3+H2 →Si+3Hcl
SeG-Si提純到SoG-Si
將SeG-Si多晶矽熔融,同時加入器件所需的微量參雜劑,通常採用硼(P型參雜劑)。
在溫度可以精細控制的情況下用籽晶能夠成熔融的矽中拉出大圓柱形的單晶矽棒。直徑過125cm長度為1~2m。