質譜儀又稱質譜計。

分離和檢測不同同位素的儀器。

即根據帶電粒子在電磁場中能夠偏轉的原理，按物質原子、分子或分子碎片的質量差異進行分離和檢測物質組成的一類儀器。

質譜儀按應用範圍分為同位素質譜儀、無機質譜儀和有機質譜儀。

按分辨本領分為高分辨、中分辨和低分辨質譜儀；

按工作原理分為靜態儀器和動態儀器。

不同的質譜儀，其功能不盡相同，比如：

1、有機質譜儀

有機質譜儀主要用於有機化合物的結構鑑定，它能提供化合物的分子量、元素組成以及官能團等結構資訊。

分為四極杆質譜儀、離子阱質譜儀、飛行時間質譜儀和磁質譜儀等。

2、無機質譜儀

無機質譜儀主要用於無機元素微量分析和同位素分析等方面。

分為火花源質譜儀、離子探針質譜儀、鐳射探針質譜儀、輝光放電質譜儀、電感耦合等離子體質譜儀。

火花源質譜儀不僅可以進行固體樣品的整體分析，而且可以進行表面和逐層分析甚至液體分析；

鐳射探針質譜儀可進行表面和縱深分析；

輝光放電質譜儀解析度高，可進行高靈敏度，高精度分析，適用範圍包括元素週期表中絕大多數元素，分析速度快，便於進行固體分析；

電感耦合等離子體質譜，譜線簡單易認，靈敏度與測量精度很高。

3、同位素質譜儀

同位素質譜分析法的特點是測試速度快，結果精確，樣品用量少（微克量級）。

能精確測定元素的同位素比值。

廣泛用於核科學，地質年代測定，同位素稀釋質譜分析，同位素示蹤分析。