蓄熱式熱氧化焚燒爐 RTO(Regenerative Thermal Oxidizers)原理是在高溫下將廢氣中的有機物(VOCs)氧化成對應的二氧化碳和水，從而淨化廢氣，並回收廢氣分解時所釋放出來的熱量，三室RTO廢氣分解效率達到99%以上，熱回收效率達到95%以上。

RTO主體結構由燃燒室、蓄熱室和切換閥等組成。氧化產生的高溫氣體流經特製的陶瓷蓄熱體，使陶瓷體升溫而“蓄熱”，此“蓄熱”用於預熱後續進入的有機廢氣。

從而節省廢氣升溫的燃料消耗。

陶瓷蓄熱室應分成兩個(含兩個)以上，每個蓄熱室依次經歷蓄熱-放熱-清掃等程式，週而復始，連續工作。蓄熱室“放熱”後應立即引入適量潔淨空氣對該蓄熱室進行清掃(以保證VOC去除率在98%以上)，只有待清掃完成後才能進入“蓄熱”程式。

否則殘留的VOCS隨煙氣排放到煙囪從而降低處理效率。蓄熱式催化劑焚燒爐 RCO(Regenerative Catalytic Oxidation)排放自工藝含VOCs的廢氣進入雙槽RCO，三向切換風閥將此廢氣匯入RCO的蓄熱槽而預熱此廢氣，含汙染的廢氣被蓄熱陶塊漸漸地加熱後進入催化床，VOCs在經催化劑分解被氧化而放出熱能於第二蓄熱槽中之陶塊，用以減少輔助燃料的消耗。

陶塊被加熱，燃燒氧化後的乾淨氣體逐漸降低溫度，因此出口溫度略高於RCO入口溫度。三向切換風閥切換改變RCO出口/入口溫度。如果VOCs濃度夠高，所放出的熱能足夠時，RCO即不需燃料。例如RCO熱回收效率為95%時，RCO出口僅較入口溫度高25℃而已。