氣泡法:在密閉的工件腔體內通入一定壓力的氣體,將工件沉放入水中(或者其它液體中),觀察是否有氣泡溢位。或者在工件表面塗肥皂水,觀察是否有氣泡產
生。(落後,汙染產品,效率低下,無法自動化)
壓力降法:在密閉的工件腔體內通入一定壓力的氣體,靜止一段時間,再次檢測氣體的壓力,觀察壓力是否有降低,根據壓力的變化來判斷是否有洩漏。(落後,效
率極其低下,靈敏度最低)
壓力差法:原理與壓力降法類似,但方法更好。在密閉的工件腔體內通入一定壓力的氣體,同時在一個標準罐體內通入同樣壓力的氣體,靜止一段時間,觀察標準罐
體內的壓力與工件內的壓力差。這個比壓力降法的精度要高,它可以排除環境溫度變化帶來的壓力偏差。但市面上現有的壓差表解析度只有
100~1000pa(靈敏度有所提高,效率也不高)
洩漏收集法:適合閥類產品,一側(腔體)加壓,另一側(腔體)收集洩漏氣體且儘可能減小腔體體積,以增加單位洩漏量下的壓力的變化速度。效率一般。
超聲波探測法:原理是洩漏點會產生超聲波,使用超聲波探測儀即可找出洩漏點。這個適用於尋找氣體管路洩漏點的檢測。(精度很差,最小隻能探測到3公斤壓力
下100um孔徑的洩漏,這時的洩漏速度有100000立方毫米/秒以上)
鹵素氣體檢漏法:將一定壓力的鹵素氣體通入密閉的工件腔體中,在工件外部用鹵素探測儀檢測是否有鹵素氣體洩漏。(精度尚可,能探測到的最小洩漏速度大約為
10~20立方毫米/秒,效率一般,要在所有表面掃描探測,)
氫氦氣檢漏法:原理與鹵素氣體檢漏法類似,不同的是使用分子量更小,運動速度更快的氫氦氣體,所以靈敏度更高。在20℃標準大氣壓下,水分子的運動速率約
1~2m/s,氧氣分子運動速率約460m/s,氫分子運動速率約1600m/s。將一定壓力的氦氣,通入密閉的工件腔體中,然後使用氦質譜儀檢測工件的
腔體周圍是否有氫氦元素洩漏,這個是目前高精度檢漏所用的方法,比起前面幾個方法來說,精度提高了很多,當然,成本也很高。(靈敏度最高,在真空模式下,
每秒洩漏超過1億個氣體分子時,就能探測到,在標準大氣壓下約5立方微米/秒,
或10 ^-13立方米*帕/秒,若在大氣模式下,靈敏度減少4個數量級,約0.05立方毫米/秒。不僅裝置昂貴,而且需要消耗昂貴的氦氣,要配置真空泵等,效率尚可,使用時要在所有表面掃描探測)
氣泡法:在密閉的工件腔體內通入一定壓力的氣體,將工件沉放入水中(或者其它液體中),觀察是否有氣泡溢位。或者在工件表面塗肥皂水,觀察是否有氣泡產
生。(落後,汙染產品,效率低下,無法自動化)
壓力降法:在密閉的工件腔體內通入一定壓力的氣體,靜止一段時間,再次檢測氣體的壓力,觀察壓力是否有降低,根據壓力的變化來判斷是否有洩漏。(落後,效
率極其低下,靈敏度最低)
壓力差法:原理與壓力降法類似,但方法更好。在密閉的工件腔體內通入一定壓力的氣體,同時在一個標準罐體內通入同樣壓力的氣體,靜止一段時間,觀察標準罐
體內的壓力與工件內的壓力差。這個比壓力降法的精度要高,它可以排除環境溫度變化帶來的壓力偏差。但市面上現有的壓差表解析度只有
100~1000pa(靈敏度有所提高,效率也不高)
洩漏收集法:適合閥類產品,一側(腔體)加壓,另一側(腔體)收集洩漏氣體且儘可能減小腔體體積,以增加單位洩漏量下的壓力的變化速度。效率一般。
超聲波探測法:原理是洩漏點會產生超聲波,使用超聲波探測儀即可找出洩漏點。這個適用於尋找氣體管路洩漏點的檢測。(精度很差,最小隻能探測到3公斤壓力
下100um孔徑的洩漏,這時的洩漏速度有100000立方毫米/秒以上)
鹵素氣體檢漏法:將一定壓力的鹵素氣體通入密閉的工件腔體中,在工件外部用鹵素探測儀檢測是否有鹵素氣體洩漏。(精度尚可,能探測到的最小洩漏速度大約為
10~20立方毫米/秒,效率一般,要在所有表面掃描探測,)
氫氦氣檢漏法:原理與鹵素氣體檢漏法類似,不同的是使用分子量更小,運動速度更快的氫氦氣體,所以靈敏度更高。在20℃標準大氣壓下,水分子的運動速率約
1~2m/s,氧氣分子運動速率約460m/s,氫分子運動速率約1600m/s。將一定壓力的氦氣,通入密閉的工件腔體中,然後使用氦質譜儀檢測工件的
腔體周圍是否有氫氦元素洩漏,這個是目前高精度檢漏所用的方法,比起前面幾個方法來說,精度提高了很多,當然,成本也很高。(靈敏度最高,在真空模式下,
每秒洩漏超過1億個氣體分子時,就能探測到,在標準大氣壓下約5立方微米/秒,
或10 ^-13立方米*帕/秒,若在大氣模式下,靈敏度減少4個數量級,約0.05立方毫米/秒。不僅裝置昂貴,而且需要消耗昂貴的氦氣,要配置真空泵等,效率尚可,使用時要在所有表面掃描探測)