旋片式真空泵：定義泵內偏心安裝的轉子與定子固定面相切，兩個（或以上）旋片在轉子槽內滑動（通常為徑向）並與定子內壁相接觸，將泵腔分為幾個可變容積的一種旋轉變容積真空泵。通常，旋片與泵腔之間的間隙用油來作為密封，所以旋片真空泵一般是油封式機械真空泵。一、旋片式真空泵結構：旋片式真空泵可以抽除密封容器中的乾燥氣體，若附有氣鎮裝置，還可以抽除一定量的可凝性氣體。但它不適於抽除含氧過高的，對金屬有腐蝕性的、對泵油會起化學反應以及含有顆粒塵埃的氣體。旋片式真空泵是真空技術中最基本的真空獲得裝置之一。旋片泵多為中小型泵。旋片式真空泵有單級和雙級兩種。所謂雙級，就是在結構上將兩個單級泵串聯起來。一般多做成雙級的，以獲得較高的真空度。旋片泵的抽速與入口壓強的關係規定如下：在入口壓強為1333Pa、1、33Pa和1、33×10-1（Pa）下，其抽速值分別不得低於泵的名義抽速的95%、50%和20%。旋片泵主要由泵體、轉子、旋片、端蓋、彈簧等組成。在旋片泵的腔內偏心地安裝一個轉子，轉子外圓與泵腔內表面相切（二者有很小的間隙），轉子槽內裝有帶彈簧的二個旋片。旋轉時，靠離心力和彈簧的張力使旋片頂端與泵腔的內壁保持接觸，轉子旋轉帶動旋片沿泵腔內壁滑動。旋片式真空泵原理圖：旋片泵的旋片把轉子、泵腔和兩個端蓋所圍成的月牙形空間分隔成A、B、C三部分，當轉子按箭頭方向旋轉時，與吸氣口相通的空間A的容積是逐漸增大的，正處於吸氣過程。而與排氣口相通的空間C的容積是逐漸縮小的，正處於排氣過程。居中的空間B的容積也是逐漸減小的，正處於壓縮過程。由於空間A的容積是逐漸增大（即膨脹），氣體壓強降低，泵的入口處外部氣體壓強大於空間A內的壓強，因此將氣體吸入。當空間A與吸氣口隔絕時，即轉至空間B的位置，氣體開始被壓縮，容積逐漸縮小，最後與排氣口相通。當被壓縮氣體超過排氣壓強時，排氣閥被壓縮氣體推開，氣體穿過油箱內的油層排至大氣中。由泵的連續運轉，達到連續抽氣的目的。如果排出的氣體透過氣道而轉入另一級（低真空級），由低真空級抽走，再經低真空級壓縮後排至大氣中，即組成了雙級泵。這時總的壓縮比由兩級來負擔，因而提高了極限真空度。旋轉式真空泵工作原理：1、液環真空泵工作原理：液環真空泵常用的有水環真空泵和納西泵。它主要用於抽吸氣體，特別在抽吸腐蝕性氣體時更為常用。在泵體中裝在適量的水作為工作液。當葉輪順時針方向旋轉時，水被葉輪拋向四周，由於離心力的作用，水形成一個決定於泵腔形狀的近似於等厚度的封閉圓環。水環的下部分內表面恰好與葉輪輪殼相切，水環的上部內表面剛好與葉片頂端接觸（實際上葉片在水環內有一定的插入深度）。此時葉輪輪殼與水環這間形成一個月牙形空間，而這一空間又被葉輪分成和葉片數目相等的若干個小腔。如果以葉輪的下部零度為起點，那麼葉輪在旋轉前180度時小腔的容積由小變大，且與端面上的吸氣口相通，此時氣體被吸入，當吸氣終了時小腔則與吸氣口隔絕；當葉輪繼續旋轉時，小腔由大變小，使氣體被壓縮；當小腔與排氣口相通時，氣體更被排出泵外。水環泵是靠泵腔容積的變化來實現吸氣、壓縮和排氣的，因此它屬於變容式真空泵。納西泵的作用原理和水環真空泵一樣，但是由於葉輪是在橢圓型殼體中旋轉，在長軸方向的液環與葉軸間形成兩個月牙形空間，葉輪旋轉時就反覆靠近和離開液環，空間也就反覆縮小和擴大。這樣，就可不斷地將液體壓出和吸入。2、滑閥真空泵工作原理：另一種典形的旋轉真空泵為滑閥真空泵，泵殼內裝一偏心的轉子。轉子上有若干槽，槽內有可以滑動的滑片。轉子轉地槽內的滑片向四周伸出，不與泵殼接觸。氣體於滑片與泵殼所包圍的空間擴大的一側吸入，於二者所包圍的空間縮小的它側排出。滑片真空泵所產生的低壓可達0、06Pa。相比旋片真空泵執行更加穩定，耐用性更強。3、噴射式真空泵工作原理：噴射泵是利用流動時的動能與靜壓能相互轉化的原理來吸送流體的，工作液體可以是蒸汽，也可以是液體。噴射泵由工作噴嘴和擴壓器及混合室相連而組成。工作噴嘴和擴壓器這兩個部件組成了一條斷面變化的特殊氣流管道。工作蒸氣在高壓下以很高的速度從噴嘴噴出，在噴射過程中，氣流透過噴嘴可將靜壓能轉變為動能。工作蒸汽壓強和泵的出口壓強之間的壓力差，使工作蒸汽在管道中流動。在這個特殊管道中，蒸汽經過噴嘴的出口到擴壓器入口之間的這個區域（混合室），由於蒸汽流處於高速而出現一個負壓區。此處的負壓要比工作蒸汽壓強和泵出口處所能承受的最大壓強（反壓強）低很多。此時，被抽氣體吸進混合室，工作蒸汽和被抽氣體相互混合並進行能量交換，把工作蒸汽靜壓能轉變來的動能傳給被抽氣體，混合氣流在擴壓器擴張某而產生正激波，波後的混合氣流速度降為亞音速，混合氣流的壓力上升。亞音速的氣流在擴壓器的漸擴流動時是降速增壓的。混合氣流在擴壓器出口處，壓力增加，速度下降，而後從壓出口排出。故噴射泵也是一臺氣體壓縮機。
旋片式真空泵：定義泵內偏心安裝的轉子與定子固定面相切，兩個（或以上）旋片在轉子槽內滑動（通常為徑向）並與定子內壁相接觸，將泵腔分為幾個可變容積的一種旋轉變容積真空泵。通常，旋片與泵腔之間的間隙用油來作為密封，所以旋片真空泵一般是油封式機械真空泵。一、旋片式真空泵結構：旋片式真空泵可以抽除密封容器中的乾燥氣體，若附有氣鎮裝置，還可以抽除一定量的可凝性氣體。但它不適於抽除含氧過高的，對金屬有腐蝕性的、對泵油會起化學反應以及含有顆粒塵埃的氣體。旋片式真空泵是真空技術中最基本的真空獲得裝置之一。旋片泵多為中小型泵。旋片式真空泵有單級和雙級兩種。所謂雙級，就是在結構上將兩個單級泵串聯起來。一般多做成雙級的，以獲得較高的真空度。旋片泵的抽速與入口壓強的關係規定如下：在入口壓強為1333Pa、1、33Pa和1、33×10-1（Pa）下，其抽速值分別不得低於泵的名義抽速的95%、50%和20%。旋片泵主要由泵體、轉子、旋片、端蓋、彈簧等組成。在旋片泵的腔內偏心地安裝一個轉子，轉子外圓與泵腔內表面相切（二者有很小的間隙），轉子槽內裝有帶彈簧的二個旋片。旋轉時，靠離心力和彈簧的張力使旋片頂端與泵腔的內壁保持接觸，轉子旋轉帶動旋片沿泵腔內壁滑動。旋片式真空泵原理圖：旋片泵的旋片把轉子、泵腔和兩個端蓋所圍成的月牙形空間分隔成A、B、C三部分，當轉子按箭頭方向旋轉時，與吸氣口相通的空間A的容積是逐漸增大的，正處於吸氣過程。而與排氣口相通的空間C的容積是逐漸縮小的，正處於排氣過程。居中的空間B的容積也是逐漸減小的，正處於壓縮過程。由於空間A的容積是逐漸增大（即膨脹），氣體壓強降低，泵的入口處外部氣體壓強大於空間A內的壓強，因此將氣體吸入。當空間A與吸氣口隔絕時，即轉至空間B的位置，氣體開始被壓縮，容積逐漸縮小，最後與排氣口相通。當被壓縮氣體超過排氣壓強時，排氣閥被壓縮氣體推開，氣體穿過油箱內的油層排至大氣中。由泵的連續運轉，達到連續抽氣的目的。如果排出的氣體透過氣道而轉入另一級（低真空級），由低真空級抽走，再經低真空級壓縮後排至大氣中，即組成了雙級泵。這時總的壓縮比由兩級來負擔，因而提高了極限真空度。旋轉式真空泵工作原理：1、液環真空泵工作原理：液環真空泵常用的有水環真空泵和納西泵。它主要用於抽吸氣體，特別在抽吸腐蝕性氣體時更為常用。在泵體中裝在適量的水作為工作液。當葉輪順時針方向旋轉時，水被葉輪拋向四周，由於離心力的作用，水形成一個決定於泵腔形狀的近似於等厚度的封閉圓環。水環的下部分內表面恰好與葉輪輪殼相切，水環的上部內表面剛好與葉片頂端接觸（實際上葉片在水環內有一定的插入深度）。此時葉輪輪殼與水環這間形成一個月牙形空間，而這一空間又被葉輪分成和葉片數目相等的若干個小腔。如果以葉輪的下部零度為起點，那麼葉輪在旋轉前180度時小腔的容積由小變大，且與端面上的吸氣口相通，此時氣體被吸入，當吸氣終了時小腔則與吸氣口隔絕；當葉輪繼續旋轉時，小腔由大變小，使氣體被壓縮；當小腔與排氣口相通時，氣體更被排出泵外。水環泵是靠泵腔容積的變化來實現吸氣、壓縮和排氣的，因此它屬於變容式真空泵。納西泵的作用原理和水環真空泵一樣，但是由於葉輪是在橢圓型殼體中旋轉，在長軸方向的液環與葉軸間形成兩個月牙形空間，葉輪旋轉時就反覆靠近和離開液環，空間也就反覆縮小和擴大。這樣，就可不斷地將液體壓出和吸入。2、滑閥真空泵工作原理：另一種典形的旋轉真空泵為滑閥真空泵，泵殼內裝一偏心的轉子。轉子上有若干槽，槽內有可以滑動的滑片。轉子轉地槽內的滑片向四周伸出，不與泵殼接觸。氣體於滑片與泵殼所包圍的空間擴大的一側吸入，於二者所包圍的空間縮小的它側排出。滑片真空泵所產生的低壓可達0、06Pa。相比旋片真空泵執行更加穩定，耐用性更強。3、噴射式真空泵工作原理：噴射泵是利用流動時的動能與靜壓能相互轉化的原理來吸送流體的，工作液體可以是蒸汽，也可以是液體。噴射泵由工作噴嘴和擴壓器及混合室相連而組成。工作噴嘴和擴壓器這兩個部件組成了一條斷面變化的特殊氣流管道。工作蒸氣在高壓下以很高的速度從噴嘴噴出，在噴射過程中，氣流透過噴嘴可將靜壓能轉變為動能。工作蒸汽壓強和泵的出口壓強之間的壓力差，使工作蒸汽在管道中流動。在這個特殊管道中，蒸汽經過噴嘴的出口到擴壓器入口之間的這個區域（混合室），由於蒸汽流處於高速而出現一個負壓區。此處的負壓要比工作蒸汽壓強和泵出口處所能承受的最大壓強（反壓強）低很多。此時，被抽氣體吸進混合室，工作蒸汽和被抽氣體相互混合並進行能量交換，把工作蒸汽靜壓能轉變來的動能傳給被抽氣體，混合氣流在擴壓器擴張某而產生正激波，波後的混合氣流速度降為亞音速，混合氣流的壓力上升。亞音速的氣流在擴壓器的漸擴流動時是降速增壓的。混合氣流在擴壓器出口處，壓力增加，速度下降，而後從壓出口排出。故噴射泵也是一臺氣體壓縮機。