金屬電阻絲應變片與半導體應變片在工作原理上的不同在於電阻變化的原因不同： 金屬電阻絲應變片是導體的形狀變化從而引起阻值相應的變化。 半導體應變片是半導體的電阻率發生變化從而引起電阻相應的變化。 （1）電阻應變片，是由用於測量應變的元件。它能將機械構件上應變的變化轉換為電阻變化。電阻應變片是由Φ=0.02-0.05mm的康銅絲或鎳鉻絲繞成柵狀(或用很薄的金屬箔腐蝕成柵狀)夾在兩層絕緣薄片中(基底)製成。用鍍銀銅線與應變片絲柵連線，作為電阻片引線。電阻應變片有多種形式，常用的有絲式和箔式。 （2）利用半導體單晶矽的壓阻效應制成的一種敏感元件，又稱半導體應變片。壓阻效應是半導體晶體材料在某一方向受力產生變形時材料的電阻率發生變化的現象(見壓阻式感測器)。半導體應變片需要貼上在試件上測量試件應變或貼上在彈性敏感元件上間接地感受被測外力。利用不同構形的彈性敏感元件可測量各種物體的應力、應變、壓力、扭矩、加速度等機械量。 （3）半導體應變片與電阻應變片相比，具有靈敏係數高(約高 50~100倍)、機械滯後小、體積小、耗電少等優點。P型和N型矽的靈敏係數符號相反，適於接成電橋的相鄰兩臂測量同一應力。早期的半導體應變片採用機械加工、化學腐蝕等方法制成，稱為體型半導體應變片。它的缺點是電阻和靈敏係數的溫度係數大、非線性大和分散性大等。這曾限制了它的應用和發展。自70年代以來，隨著半導體積體電路工藝的迅速發展，相繼出現擴散型、外延型和薄膜型半導體應變片，上述缺點得到一定克服。半導體應變片主要應用於飛機、導彈、車輛、船舶、機床、橋樑等各種裝置的機械量測量。