所謂的真空度是指一個空間內氣體分子數的密度比標準狀態下(一個大氣壓101325pa)少.而溼度通常是指氣態水分子的多少.空氣中除了氮和氧以外,還有很多其他氣體,水分就是其中之一,所以通常來講溼度越大真空度越小,那相對來說溼度大抽真空就不容易.決定真空度大小有兩個因素:一個是真空泵本身能達到的極限真空度和抽速,一個是整個系統的洩漏量.由於任何物質由固態或液態轉化為氣態都需要能量,所以氣溫越高,分子運動越活躍,越容易將其抽出. 由於是抽真空元件內部的氣體,所以和元件內部的溫溼度關係大,和大氣的溫溼度關係小,但如果大氣的溫度較高溼度小的話,抽空效果會好一點. 一般情況下,水是影響真空的重要因素,要抽出水分最重要一點是溫度,如果沒有足夠的熱能,由於抽真空導致氣壓下降,部分液態水會揮發,使留下的水溫度下降,甚至變成冰.

相對溼度；某溫度時空氣中水的蒸氣壓跟同一溫度下水的飽和汽壓的百分比，叫做當時空氣的相對溼度． 真空度的標識通常有兩種方法，一是用絕對壓力（即：絕對真空度）標識，二是用相對壓力（即：相對真空度）標識。所謂"絕對壓力"是指，真空泵與檢測容器相連，經過足夠時間連續抽氣後，容器內的壓力不再繼續下降而維持某一定值，這時容器內的氣體壓力值就是泵的絕對壓力。如果容器內絕對沒有氣體，那麼絕對壓力就是零，這是理論真空狀態。在實際情況中，真空泵的絕對壓力值介於0～101.325KPa之間。絕對壓力值需要用絕對壓力儀表測量，在20℃、海拔高度＝0的地方，儀表的初始值為101.325KPa。簡而言之，以“理論真空”作為參照來標識的氣壓，稱為：“絕對壓力”或“絕對真空”。 所以可以看出，它們兩個都是根據壓力得出來的，在相對溼度趨近於零的時候就更接近絕對真空。這只是真空的一個條件而已，沒有具體的公式。