滑閥式真空泵的抽氣原理與旋片泵相似，但兩者結構不同。滑閥式真空泵是利用滑閥機構來改變吸氣腔容積的，故稱滑閥泵。 滑閥泵亦分單級泵和雙級泵兩種，有立式和臥式兩種結構形式。單級泵的極限壓力為0.4～1.3Pa；雙級泵的極限壓力為6×10-2 —10-1Pa。一般抽速超過150L/S的大泵都採用單級形式。這種泵可單獨使用，也可作其它泵的前級泵用。 1．工作原理 滑閥泵的結構主要由泵體及在其內部作偏心轉動的滑閥、半圓形的滑閥導軌、排氣閥、軸等組成(見圖11)。圖11：滑閥式真空泵結構原理圖 泵體中裝有滑閥環(4)，滑閥環內裝有偏心輪(3)，偏心輪固定在軸(2)上，軸與泵體中心線相重合。在滑閥環上裝有長方形的滑閥杆(5)，它能在半圓形滑閥導軌(7)中上下滑動及左右擺動，因此泵腔被滑閥環和滑閥杆分隔成A、B兩室。泵在運轉過程中，由於A、B兩室容積週期性地改變，使被抽氣體不斷進入逐漸增大容積的吸氣腔；同時，在排氣腔隨著其容積的縮小而使氣體受壓縮，並透過排氣閥排出泵外。 雙級型的滑閥泵，實際上是由兩個單級泵串聯起來的。它的高、低真空室在同一泵體上，有的是直接鑄成一個整體，有的是壓入中隔板把泵腔分成高、低兩室。

對於滑閥泵的工作原理，其實和它的整體結構脫離不了關係，因為這類裝置的旋轉質量有著比較大的偏心，這個時候在運轉過程當中會產生非常大的震動，並且透過這樣的滑閥結構來改變容積。簡單來說，滑閥泵其實跟旋片泵差不多，它作為一種變容式的氣體傳輸裝置，有著非常出色的效能，但是整體耐用度比一般真空泵高出了很多。