平面度測量的常用方法有如下幾種：

1、平晶干涉法：用光學平晶的工作面體現理想平面，直接以干涉條紋的彎曲程度確定被測表面的平面度誤差值。主要用於測量小平面，如量規的工作面和千分尺測頭測量面的平面度誤差。 平面是由直線組成的，因此直線度測量中直尺法、光學準直法、光學自準直法、重力法等也適用於測量平面度誤差。測量平面度時，先測出若干截面的直線度。 再把各測點的量值按平面度公差帶定義(見形位公差)利用圖解法或計算法進行資料處理即可得出平面度誤差。也有利用光波干涉法和平板塗色法測量平面誤差的。

2、打表測量法：打表測量法是將被測零件和測微計放在標準平板上，以標準平板作為測量基準面，用測微計沿實際表面逐點或沿幾條直線方向進行測量。打表測量法按評定基準面分為三點法和對角線法：三點法是用被測實際表面上相距最遠的三點所決定的理想平面作為評定基準面。 實測時先將被測實際表面上相距最遠的三點調整到與標準平板等高；對角線法實測時先將實際表面上的四個角點按對角線調整到兩兩等高。然後用測微計進行測量，測微計在整個實際表面上測得的最大變動量即為該實際表面的平面度誤差。

3、液平面法：液平面法是用液平面作為測量基準面，液平面由 “連通罐”內的液麵構成，然後用感測器進行測量。此法主要用於測量大平面的平面度誤差。

4、光束平面法：光束平面法是採用準值望遠鏡和瞄準靶鏡進行測量，選擇實際表面上相距最遠的三個點形成的光束平面作為平面度誤差的測量基準面。

5、鐳射平面度測量儀：鐳射平面度測量儀用於測量大型平面的平面度誤差平面度測量現場。

6、利用資料採集儀連線百分表測量平面度誤差的方法。 測量儀器：偏擺儀、百分表、資料採集儀。 測量原理：資料採集儀可從百分表中實時讀取資料，並進行平面度誤差的計算與分析，平面度誤差計算工式已嵌入我們的資料採集儀軟體中，完全不需要人工去計算繁瑣的資料，可以大大提高測量的準確率。