電子全站儀由電源部分、測角系統、測距系統、資料處理部分、通訊介面、及顯示屏、鍵盤等組成。同電子經緯儀、光學經緯儀相比，全站儀增加了許多特殊部件，因此而使得全站儀具有比其它測角、測距儀器更多的功能，使用也更方便。這些特殊部件構成了全站儀在結構方面獨樹一幟的特點。全站儀與光學經緯儀區別在於度盤讀數及顯示系統，光學經緯儀的水平度盤和豎直度盤及其讀數裝置是分別採用（編碼盤）或兩個相同的光柵度盤和讀數感測器進行角度測量的。根據測角精度可分為0.5″，1″，2″，3″，5″，7″等幾個等級。擴充套件資料：世界上最高精度的全站儀：測角精度（一測回方向標準偏差）0.5秒，測距精度 0.5mm+1ppm。利用ATR（Auto Targets Recognition，自動目標識別）功能，白天和黑夜（無需照明）都可以工作。全站儀已經達到令人不可致信的角度和距離測量精度，既可人工操作也可自動操作，既可遠距離遙控執行也可在機載應用程式控制下使用，可使用在精密工程測量、變形監測、幾乎是無容許限差的機械引導控制等應用領域。全站儀這一最常規的測量儀器將越來越滿足各項測繪工作的需求，發揮更大的作用。

電子全站儀由電源部分、測角系統、測距系統、資料處理部分、通訊介面、及顯示屏、鍵盤等組成。

同電子經緯儀、光學經緯儀相比，全站儀增加了許多特殊部件，因此而使得全站儀具有比其它測角、測距儀器更多的功能，使用也更方便。這些特殊部件構成了全站儀在結構方面獨樹一幟的特點。

全站儀與光學經緯儀區別在於度盤讀數及顯示系統，光學經緯儀的水平度盤和豎直度盤及其讀數裝置是分別採用（編碼盤）或兩個相同的光柵度盤和讀數感測器進行角度測量的。根據測角精度可分為0.5″，1″，2″，3″，5″，7″等幾個等級。

擴充套件資料：

世界上最高精度的全站儀：

測角精度（一測回方向標準偏差）0.5秒，測距精度 0.5mm+1ppm。利用ATR（Auto Targets Recognition，自動目標識別）功能，白天和黑夜（無需照明）都可以工作。

全站儀已經達到令人不可致信的角度和距離測量精度，既可人工操作也可自動操作，既可遠距離遙控執行也可在機載應用程式控制下使用，可使用在精密工程測量、變形監測、幾乎是無容許限差的機械引導控制等應用領域。

全站儀這一最常規的測量儀器將越來越滿足各項測繪工作的需求，發揮更大的作用。