低溫等離子體一般用來處理VOC有機廢氣，是利用高壓放電時候產生的高能電子和離子，分解廢氣分子。同時高能電子把氧分子分解成兩個氧原子，並與氧分子再次結合成臭氧。臭氧是強氧化劑，可以氧化有機汙染物。水分子受轟擊分解成羥基自由基，也是強氧化劑，同樣可以氧化有機物。

1、在產生等離子體的過程中，高頻放電所產生的瞬間高能量能夠開啟某些有害氣體分子的化學能，如：氨、三甲胺、硫化氫、甲硫氫、甲硫醇、甲硫醚、二甲二硫、二硫化碳和苯乙烯，硫化物H2S、VOC類，苯、甲苯、二甲苯的分子鏈結構，使有機或無機高分子惡臭化合物分子鏈分解為單質原子或無害分子；

2、等離子體中包含大量的高能電子、正負離子、激發態粒子和具有強氧化性的自由基，這些活性粒子和部分廢氣分子碰撞結合，在電場作用下，廢氣分子處於激發態。

當廢氣分子獲得的能量大於其分子鍵能的結合能時，廢氣分子的分子鍵斷裂，直接分解成單質原子或由單一原子構成得無害氣體分子。

同時產生的大量OH、HO2、O等活性自由基和氧化性極強的O3，能與有害氣體分子發生化學反應，最後生成無害產物；

3、物理作用表現在具有荷電集塵作用。等離子體中的大量電子與顆粒汙染物發生非彈性碰撞並粘附其表面從而使其荷電，在電場作用下，顆粒汙染物被集塵極收集；

4、生物作用表現在具有消毒殺菌之功效。機理為：等離子體中的正負粒子使微生物表面產生的電能剪下力大於其細胞膜表面張力，致使細胞膜遭到破壞而導致微生物死亡。