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  • 1 # 使用者6031896491720

    VDMOS:Vertical Diffused MOS,垂直擴散MOSFET

    VDMOS的漏極在矽片背面,溝道在兩個維度上包圍源極,所以叫“垂直”,實際上柵極依然是水平的。VDMOS是PowerMOS(大功率MOS器件)的一種,透過垂直設計減小溝道場強,可以使短溝道承受很高的電壓和電流。

    缺點是漏極要從背面引出,很難用和主流積體電路工藝相容。

    LDMOS: Laterally Diffused MOSFET,水平擴散MOSFET。

    也是PowerMOS的一種,和VDMOS的區別是去掉了背部的漏極引出,方便相容其它工藝,和其他積體電路整合在同一塊晶片上。

    可以看到LDMOS把背部的Drain引出挪到了右邊,代價是相對VDMOS面積變大了。

    SGT MOS:Shielded-Gate Trench MOSFET,遮蔽柵溝槽MOSFET

    還是PowerMOS,這個是真·垂直結構了。

    在矽片上刻出深槽,把柵極埋到深槽裡,同時柵極下方還埋有另一條金屬。溝道完全變成垂直的。

    優點是寄生電容很小(垂直方向厚氧化層+shielding減小Cgs和Cgd),真·垂直結構使得面積也較小。

    缺點不大瞭解,可能比較貴吧。

    CoolMOS:英飛凌公司發明的一種結構,它們起了這麼個名字

    沒錯,這依然是個PowerMOS!題主你上哪找了那麼多PowerMOS來問……

    這是一種VDMOS的改進結構,透過加深VDMOS溝道之外body的摻雜深度,在不加大正向導通電阻的前提下提高器件關斷時的反向耐壓。

    優點是解決了VDMOS正向導通電阻和反向耐壓的矛盾(VDMOS提高摻雜會減小電阻但同時減小耐壓),缺點嘛,你問英飛凌吧……

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