感測器的發展過程大致分為三個階段。第一階段是結構型感測器。這種型別的感測器是以結構為基礎，將生物訊號轉化為某些物理量的改變（例如長度、形狀等），再將其轉化為可進行處理分析的電訊號。例如電容式壓力感測器，它是根據電容間隙的變化導致電容值的變化，從而實現對壓力的測量。再例如電阻應變式感測器，它是利用金屬材料發生彈性形變時電阻的變化來實現對壓力的測量的。第二階段主要以固體感測器為代表，在70 逐漸發展起來。這種感測器由半導體電介質、磁性材料等固體元件構成，是利用材料某些特性製成的。第三階段是80 年代剛剛發展起來的智慧感測器，它具有資訊處理的功能並且自帶微處理機，具有采集、處理、交換資訊的能力，是感測器整合化與微處理機相結合的產物。與一般感測器相比，智慧感測器具有自己獨特的優勢，例如：透過軟體技術可實現高精度的資訊採集，而且成本低；具有一定的程式設計自動化能力；功能多樣化等。90 年代智慧化測量技術有了進一步的提高，在感測器一級水平實現智慧化，使其具有自診斷功能記憶功能、多參量測量功能以及聯網通訊功能等[1]。近年來，感測器正由傳統型向新型感測器轉型。微型化、數字化、智慧化、多功能化、系統化、網路化是新型感測器的特點，它有利於改造傳統產業，並可引導建立新型工業。

常見的有變截距型，便面積型，變介電常數型。

但是用於位移測量的通常是採用變截距原理的。也就是用被測物體（需要具有導電性）作為電容的一個極板，用感測器作為電容的另外一個極板。會影響這個電容電容值的因素就是距離，正對面積和間隙介質。如果想用電容感測器測位移，就要確保後兩者不會變化。

以德國米銥capaNCDT為例，可以測量導體材料和非導體材料（測量非導體材料時，採用變介電常數原理）。絕對誤差可以達到0.1微米，解析度達到0.0375奈米。但是要求不能有油汙和水等影響因素（恆定的油汙和水也是可以補償的，不恆定的就會有問題），否則會影響電容的介電常數。

德國米銥電容位移感測器測量原理，capaNCDT6530