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  • 1 # 使用者2008204498042

      直拉法又稱為切克勞斯基法,它是1918年由切克勞斯基(Czochralski)建立起來的一種晶體生長方法,簡稱CZ法。CZ法的特點是在一個直筒型的熱系統彙總,用石墨電阻加熱,將裝在高純度石英坩堝中的多晶矽熔化,然後將籽晶插入熔體表面進行熔接,同時轉動籽晶,再反轉坩堝,籽晶緩慢向上提升,經過引晶、放大、轉肩、等徑生長、收尾等過程,一支矽單晶就生長出來了。  直拉法的典型應用:  用於矽、鍺、銻化銦等半導體材料,以及氧化物和其他絕緣型別的大晶體的製備。  直拉法的優缺點  優點  1、在生產過程中可以方便的觀察晶體的生長狀態。  2、晶體在熔體表面處生長,而不與坩堝相接觸,這樣能顯著地減小晶體的應力,並防止鍋壁的寄生成核。  3、可以方便的使用定向籽晶和“縮頸”工藝。縮頸後面的籽晶,其位錯可大大減少,這樣可使放大後生長出來的晶體,其位錯密度降低。  總之,提拉法生長的晶體,其完整性很高,而生長率和晶體尺寸也是令人滿意的。例如,提拉法生長的紅寶石與焰熔法生長的紅寶石相比,具有較低的位錯密度,較高的光學均勻性,也不存在鋃嵌結構。  缺點  1、高溫下,石英容器會汙染熔體,造成晶體的純度降低。  2、直拉法得到的單晶中雜質大體上沿縱向變化,對分凝係數小於1的雜質,在晶體中濃度不斷增加,因而也就使電阻率沿整根晶棒變化,以致不能生產出電阻率均勻的單晶體。

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