1、加工原理不同。電子束和離子束的加工原理相似，都是發生碰撞效應和注入效應，從而實現加工，而鐳射加工是熱效應的原理。

2、加工裝置不同。電子束和離子束相似，都是透過電子槍裝置將電子和離子打出從而對材料進行加工，而鐳射器是由鐳射器、電源等組成，與電子和離子不同。

3、加工範圍不同。電子束加工範圍一般適用於表面，離子束加工作用於材料的內部，而鐳射加工則適用範圍較廣，應用廣。鐳射加工技術主要有以下獨特的優點：1、使用鐳射加工，生產效率高，質量可靠，經濟效益。2、可以透過透明介質對密閉容器內的工件進行各種加工；在惡劣環境或其他人難以接近的地方，可用機器人進行鐳射加工。3、鐳射加工過程中無“刀具”磨損，無“切削力”作用於工件。

4、可以對多種金屬、非金屬加工，特別是可以加工高硬度、高脆性及高熔點的材料。

5、鐳射束易於導向、聚焦實現作各方向變換，極易與數控系統配合、對複雜工件進行加工，因此它是一種極為靈活的加工方法。

6、無接觸加工，對工件無直接衝擊，因此無機械變形，並且高能量鐳射束的能量及其移動速度均可調，因此可以實現多種加工的目的。

7、鐳射加工過程中，鐳射束能量密度高，加工速度快，並且是區域性加工，對非鐳射照射部位沒有或影響極小，因此，其熱影響區小，工件熱變形小，後續加工量小。