答：離子源是離子束濺射(IBS)和離子束加工(IBF)裝置的關鍵部件。R＆R公司的寬離子束源目前主要有Kaufman離子源、微波ECR離子源和RF離子源。其工作原理是利用氣體放電產生等離子體，等離子體由電子、離子和中性粒子所組成，並被引出成束，成為離子源。 主要分為： 1 kaufman離子源 kaufman離子源是應用較早的離子源，屬於柵格式離子源。首先從熱陰極發射出來的電子經過陰極鞘層被加速而獲得相應於等離子與陰極電位差的能量，它與進入電離室的氣體原子相碰撞，氣體原子被碰撞電離，形成離子及二次電子，電子及離子形成放電室等離子體。 2 微波ECR離子源 微波電子迴旋共振（ECR）離子源是一種無陰極源，具有電離度高、束流強度大、氣壓低、效能穩定等特點，是一種高密度低氣壓等離子體源，能夠在較低的氣壓下產生大面積均勻的高密度等離子體。 3 射頻（RF）離子源 射頻離子源中，氣體透過一個專門設計的氣體均壓絕緣器進入石英放電室，13.56MHz的射頻功率透過LC構成的人工傳輸線，感應進入放電室，產生了旋渦的周向電場。該電場可用來離化工作氣體。

1）化學電離源使用範圍：適用範圍、容易揮發、受熱不易分解的樣品。

2）電子轟擊電離源 適用範圍：適用於容易揮發，對人穩定的樣品。反之不適用於熱不穩定和難揮發化合物。

3）快原子轟擊源，適用範圍：揮發性極低、極性強的有機化合物、離子型化合物，遇熱不穩定的，相對分子質量較大的極性化合物。

4）電噴霧電離源，使用範圍：多肽、蛋白質、糖蛋白及其他多聚物的分析5）大氣壓化學電離源，適用範圍：主要應用於小分子分析、用選擇性例子分子反應及單離子檢測可提高定量分析的靈敏度和準確度。

答：離子源是離子束濺射(IBS)和離子束加工(IBF)裝置的關鍵部件。R＆R公司的寬離子束源目前主要有Kaufman離子源、微波ECR離子源和RF離子源。其工作原理是利用氣體放電產生等離子體，等離子體由電子、離子和中性粒子所組成，並被引出成束，成為離子源。 主要分為： 1 kaufman離子源 kaufman離子源是應用較早的離子源，屬於柵格式離子源。首先從熱陰極發射出來的電子經過陰極鞘層被加速而獲得相應於等離子與陰極電位差的能量，它與進入電離室的氣體原子相碰撞，氣體原子被碰撞電離，形成離子及二次電子，電子及離子形成放電室等離子體。 2 微波ECR離子源 微波電子迴旋共振（ECR）離子源是一種無陰極源，具有電離度高、束流強度大、氣壓低、效能穩定等特點，是一種高密度低氣壓等離子體源，能夠在較低的氣壓下產生大面積均勻的高密度等離子體。 3 射頻（RF）離子源 射頻離子源中，氣體透過一個專門設計的氣體均壓絕緣器進入石英放電室，13.56MHz的射頻功率透過LC構成的人工傳輸線，感應進入放電室，產生了旋渦的周向電場。該電場可用來離化工作氣體。

1）化學電離源使用範圍：適用範圍、容易揮發、受熱不易分解的樣品。

2）電子轟擊電離源 適用範圍：適用於容易揮發，對人穩定的樣品。反之不適用於熱不穩定和難揮發化合物。

3）快原子轟擊源，適用範圍：揮發性極低、極性強的有機化合物、離子型化合物，遇熱不穩定的，相對分子質量較大的極性化合物。

4）電噴霧電離源，使用範圍：多肽、蛋白質、糖蛋白及其他多聚物的分析5）大氣壓化學電離源，適用範圍：主要應用於小分子分析、用選擇性例子分子反應及單離子檢測可提高定量分析的靈敏度和準確度。