紫外線殺菌燈產生臭氧的原因是由於波長 200nm 以下的短波長紫外線能分解O₂分子，生成的 O*與O₂結合產生臭氧O₃。具體的反應過程如下。

3O₂+hv=2O₃，其中hv為合適的波長能量。

紫外線是Sunny中波長為10～400奈米（nm）的光線，可以分為UVA（紫外線A，波長320～400奈米，長波）、UVB（波長280～320奈米，中波）、UVC（波長100～280奈米，短波）3種。

只有當紫外線的波長不大於200nm時，才能被空氣中的O₂吸收，從而發生反應生成O₃。

擴充套件資料：

1、紫外線的波段類別

紫外線根據波可分為近紫外線UVA，遠紫外線UVB和超短紫外線UVC。

（1）短波UVC

短波紫外線簡稱UVC，是波長200～280nm(奈米)的紫外光線。短波紫外線在經過地球表面同溫層時被臭氧層吸收，不能到達地球表面。短波紫外線對人體可產生重要作用，因此，對短波紫外線應引起足夠的重視。

（2）中波UVB

中波紫外線簡稱UVB，是波長280～320nm的紫外線。中波紫外線對人體面板有一定的生理作用。此類紫外線的極大部分被面板表皮所吸收，不能滲入面板內部。但由於其階能較高，對面板可產生強烈的光損傷，被照射部位真皮血管擴張，面板可出現紅腫、水泡等症狀。

長久照射面板會出現紅斑、炎症、面板老化，嚴重者可引起面板癌。由此中波紫外線又被稱作紫外線的曬傷(紅)段，是應重點預防的紫外線波段。

（3）長波UVA

UVA是波長 315~400nm 的紫外線。長波紫外線對衣物和人體面板的穿透性遠比中波紫外線要強，可達到真皮深處，並可對錶皮部位的黑色素起作用，從而引起面板黑色素沉著，使面板變黑，起到了防禦紫外線，保護面板的作用。

2、紫外線的正向作用

（1）滅菌作用

紫外線滅菌作用，短波紫外線對微生物的破壞力極強，當該波段的紫外線照射細菌體後，細胞的核蛋白和脫氧核糖核酸（DNA）強烈地吸收該波段的能量，它們之間的鏈被開啟斷裂，從而使細菌死亡。如用紫外線汞燈或金屬鹵化物燈對空氣和食品滅菌。

（2）保健作用

波長在 280～320 奈米的月波紫外線照射人體後，能引起面板肌體的光化學過程和光電反應，使面板產生許多活性物質，從而起到健康保健的作用。採用紫外線照射調節高階神經的功能、改善睡眠、降低血壓。經常接受紫外線照射能加強白血球的吞噬能力，增強人的免疫功能

紫外線的頻率比較大，有的紫外線能產生臭氧，有的紫外線被臭氧吸收，紫外線燈能產生臭氧，經紫外線照射後，把空氣中的一部分氧氣分解成單分子氧，後單分子氧又與周圍的氧氣結合，組成臭氧，所以臭氧也很不穩定，很快就散發掉了。