無塵室的等級要求及等級劃分：每立方米將小於0.3微米粒徑的微塵數量控制在3500個以下，就達到了國際無塵標準的A級。目前應用在晶片級生產加工的無塵標準對於灰塵的要求高於A級，這樣的高標主要被應用在一些等級較高晶片生產上。0.5uM及以下的微塵數量被嚴格控制在每立方米1000個以內，這也就是業內俗稱的1K級別，無塵室吸塵器每個立方米內含的灰塵粒子越少表示無塵室等級越高。無塵室等級從高到低可劃分為：百級，千級，萬級，十萬級。

1、1級：級的無塵車間主要用於製造積體電路的微電子工 業，對積體電路的精確要求為亞微米。

2、10級： 十級的無塵車間主要用於頻寬小於2微米的半導體工業。

3、100級：百級無塵車間並非無菌室，百級無塵車間對“無菌”的或“無塵”的環境要嚴格，100級無塵室可用於醫藥工業的無菌製造工藝等，這一無塵車間大量應用於植如體內物品的製造，外科手術，包括移植手術，整合器的製造，那些對細菌感染特別敏感的病人的隔離治療，如像骨髓移植病人術後的隔離治療。

4、1000級：千級的無塵車間主要用於高質量光學產品的生產，還用於測試，裝配飛機蛇螺儀，裝配高質微型軸承等。

5、10000級：萬級無塵車間用於液壓裝置或氣壓裝置的裝配，某些情況下也用於食品飲料工業，此外，萬級無塵車間在醫工業中也很常用。

6、100000級：十萬級無塵車間用於很多的工業部門，比如光學產品的製造，用於較小的元器件製造大型的電子系統，液壓或氣壓系統的製造，食品飲料的生產，醫、藥工業也常常使用這一級無塵車間。

7、300000級別：三十萬級無塵車間級別較低，用於普通潔淨區，如級別不高的走道。