無塵車間是指將一定空間範圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之汙染物排除，並將室內之溫度、潔淨度、室內壓力、氣流速度與氣流分佈、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求範圍內，而所給予特別設計之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化，其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔淨度、溫溼度及壓力等效能之特性。 無塵車間等級劃分：1級≥百級級≥千級級≥萬級≥十萬級≥百萬級 越排在前面，級別越高，1級是級別最高的。最常見的是百級到十萬級。 1級 這個級別的無塵車間主要用於製造積體電路的微電子工 業，對積體電路的精確要求為亞微米。 10級 這個級別的無塵車間主要用於頻寬小於2微米的半導體工業。 100級很多人認為，這一級無塵車間是最常用因而是最重要的無塵車間，這一潔淨室大量應用於，植如體內物品的製造，外科手術，包括移植手術，整合器的製造，那些對細菌感染特別敏感的病人的隔離治療，比如像骨髓移植病人術後的隔離治療。 1000級這個級別的無塵車間主要用於高質量光學產品的生產，還用於測試，裝配飛機蛇螺儀，裝配高質微型軸承等。 10000級萬級無塵車間用於液壓裝置或氣壓裝置的裝配，某些情況下也用於食品飲料工業，此外，萬級無塵車間在醫工業中也很常用。 100000級十萬級無塵車間用於很多的工業部門，比如光學產品的製造，用於較小的元器件製造大型的電子系統，液壓或氣壓系統的製造，食品飲料的生產，醫、藥工業也常常使用這一級無塵車間。 如下圖：

潔淨車間是一個統稱，其中包括無塵車間、潔淨室(Clean Room)以及無塵室，同時無塵車間還分為好幾個級別，不同級別空氣潔淨度的空氣過濾器的選用、佈置要點：對於300000級空氣淨化處理，可採用亞高效過濾器代替高效過濾器，無塵車間等級分為100級、10000級及100000級的空氣淨化處理，應採用初、中、高效過濾器三級過濾器，中效或高效空氣過濾器宜按小於或等於額定風量選用，中效空氣過濾器宜集中設定在淨化空氣調節的正壓段，高效或亞高效空氣過濾器宜設定在淨化空氣調節系統的末端。

　一、LCD生產潔淨車間靜電庫侖力吸上粉塵、汙物帶給無器件，增大洩漏或造成短路，使效能受損，成品率和可靠性大大下降。如粉塵粒徑大於100pm、鋁線寬度約10(Vm、氧化膜厚度在50pm時，最易使產品報廢;現線上徑更細，氧化膜很薄，很小粒徑塵粒子就會損害元器件，這種情形多發生在腐蝕清洗、光刻、點焊和封裝等工藝過程中。

潔淨車間工程

　　二、靜電放電

　　1)元器件的絕緣氧化膜被擊穿，引線被燒斷或線間融斷。若人體帶上10kV(100PF)的靜電荷，觸控器件腳時發生ESD，其向大地瞬間形成脈衝放電電流峰值可達20A(10～100s)，此時，就連一般的IC、MOS無塵車間等級都會遭受損壞。

潔淨車間工程

　　2)潔淨車間工程造成噪聲、發射電磁波干擾。ESD引起EMI其電磁波的前後峰較尖，訊號強，相當與電路中幾伏的能量，頻率跨越幾MHz、甚幾百MHz的強大噪聲，可能引起元器件損壞，裝置和感測器不正常工作，甚至引起裝置宕機。ESD引起的EMI還會引發錯誤訊號的輸入，或發生鎖存現象。如無塵室中，將晶片的EMIF箱放在鋼的手推車上，晶片的ESD會透過電感傳給手推車，車輪是絕緣的，則EMI的擴散會引起晶片處理機宕機。

潔淨車間工程

　　3)電擊人體。人的ESD或對人的ESD當超過人體電擊極限電流5mA以上時，人都會有各種傷害感覺，造成工作人員的情緒不安，以導致操作錯誤。

　　半導體、平面顯示器、光電子等潔淨室總是會出現一些靜電問題，靜電問題關係到很多，例如生產安全以及產品的質量，其次還會對成本和效益造成一定影響。