1、以至於：

（1）表示一種延伸,如“我的兒子,兒子的兒子,孫子的兒子,孫子的孫子,以至於無窮盡的兒子的兒子,無窮盡的孫子的孫子都不用幹活了”。

（2）上文所說的情況程度很深而形成的結果.如“形勢的發展十分迅速,以至於使很多人感到驚奇”。

2、以致於：

表示下文是上文所說的原因的結果（多指不好的結果）.如“對弱勢群體的關注不夠導致了他們長期內心情緒的這種積壓,以致於他們走上這條絕路”。

由此可見,“以至於”適用的範圍比較廣,而“以致於”則只適用於“不好的結果”這方面的內容。

擴充套件資料：

虛詞辨析主要是介詞、副詞、連詞及助詞的辨析，特別是介詞副詞更是重點。虛詞辨析主要包括近義虛詞辨析、虛詞辨析、關聯詞語辨析，特別是近義詞辨析及關聯詞語的辨析。

近義虛詞辨析應著眼於：從詞性角度辨析，如“固然”與“誠然”；從詞語使用場合範圍角度；從語氣角度；從詞語搭配角度；從表達關係角度等辨析；用造句法、辨字法；關係法等來辨析；從詞語的結構及功能辨析。

審視語境，做到“三審視”：一、審視句意對句中詞語要求；二、審視詞語的感情色彩與所處的語境色彩是否相融；三、審視詞語使用的適用物件、範圍與句意表達的物件、範圍是否吻合。

參考資料：

1、以至於：

（1）表示一種延伸,如“我的兒子,兒子的兒子,孫子的兒子,孫子的孫子,以至於無窮盡的兒子的兒子,無窮盡的孫子的孫子都不用幹活了”。

（2）上文所說的情況程度很深而形成的結果.如“形勢的發展十分迅速,以至於使很多人感到驚奇”。

2、以致於：

表示下文是上文所說的原因的結果（多指不好的結果）.如“對弱勢群體的關注不夠導致了他們長期內心情緒的這種積壓,以致於他們走上這條絕路”。

由此可見,“以至於”適用的範圍比較廣,而“以致於”則只適用於“不好的結果”這方面的內容。