要看用什麼泵抽，目前使用機械泵做前級，羅茨泵做二級泵，擴散泵做三級。三個泵同時工作，可以抽到0.000001pa

不過現在真空領域有很多科技的進步，還有分子泵，冷凝泵的發明。

這是我找的一些資料

起動壓強（Pa）

活塞式真空泵 1×105～1.3×102 1×105

旋片式真空泵 1×105—6.7×10-1 1×105

水環式真空泵 1×105—2.7×103 1×105

羅茨真空泵 1.3×103—1.3 1.3×103

渦輪分子泵 1.3—1.3×10-5 1.3

水蒸氣噴射泵 1×105—1.3×10-1 1×105

油擴散泵 1.3×10-2—1.3×10-7 1.3×10

油蒸氣噴射泵 1.3×10—1.3×10-2

分子篩吸附泵 1×105—1.3×10-1 1×105

濺射離子泵 1.3×10-3—1.3×10-9 6.7×10-1

鈦昇華泵 1.3×10-2—1.3×10-9 1.3×10-2

鋯鋁吸氣劑泵 1.3×10—1.3×10-11 1.3×10

低溫泵 1.3—1.3×10-11

這裡最低可以到

0.000000000013pa