MEMS是微機械(微米/奈米級)與IC整合的微系統，即具有智慧的微系統，MEMS基於矽微加工技術但不僅限於它。簡單來說，MEMS就是對系統級晶片的進一步整合。我們幾乎可以在單個晶片上整合任何東西，像運動裝置、光學系統、發音系統、化學分析、無線系統及計算系統等，因此MEMS技術是一門多學科交叉的技術。MEMS器件價格低廉、效能優異、適用於多種應用，將成為影響未來生活的重要技術之一。微電子機械系統(MEMS)技術是建立在微米/奈米技術（micro/nanotechnology）基礎上的21世紀前沿技術，是指對微米/奈米材料進行設計、加工、製造、測量和控制的技術。它可將機械構件、光學系統、驅動部件、電控系統整合為一個整體單元的微型系統。這種 微電子機械系統不僅能夠採集、處理與傳送資訊或指令，還能夠按照所獲取的資訊自主地或根據外部的指令採取行動。它用微電子技術和微加工技術(包括矽體微加工、矽表面微加工、LIGA和晶片鍵合等技術)相結合的製造工藝，製造出各種效能優異、價格低廉、微型化的感測器、執行器、驅動器和微系統。 微電子機械系統（MEMS）是近年來發展起來的一種新型多學科交叉的技術，該技術將對未來人類生活產生革命性的影響。它涉及機械、電子、化學、物理、光學、生物、材料等多學科。對 微電子機械系統(MEMS)的研究主要包括理論基礎研究、製造工藝研究及應用研究三類。理論研究主要是研究微尺寸效應、微磨擦、微構件的機械效應以及微機械、微感測器、微執行器等的設計原理和控制研究等；製造工藝研究包括微材料效能、微加工工藝技術、微器件的整合和裝配以及微測量技術等；應用研究主要是將所研究的成果，如微型電機、微型閥、微型感測器以及各種專用微型機械投入實用。　　微電子機械系統（MEMS）的製造，是從專用積體電路（ASIC）技術發展過來的，如同ASIC技術那樣，可以用微電子工藝技術的方法批次製造。但比ASIC製造更加複雜，這是由於 微電子機械系統（MEMS）的製造採用了諸如生物或者化學活化劑之類的特殊材料，是一種高水平的微米/奈米技術。微米制造技術包括對微米材料的加工和製造。它的製造工藝包括：光刻、刻蝕、澱積、外延生長、擴散、離子注入、測試、監測與封裝。納米制造技術和工藝，除了包括微米制造的一些技術（如離子束光刻等）與工藝外，還包括利用材料的本質特性而對材料進行分子和原子量級的加工與排列技術和工藝等。 微電子機械系統的製造方法包括LIGA工藝（光刻、電鍍成形、鑄塑）、聲鐳射刻蝕、非平面電子束光刻、真空鍍膜（濺射）、矽直接鍵合、電火花加工、金剛石微量切削加工。