1.臭氧放電介質。臭氧發生筒是臭氧發生器的核心元件，也是容易發生故障的元件，其質量好壞直接影響臭氧發生器的放電電壓、效率及安全性。市場上常見的臭氧發生器放電介質多為玻璃材質，玻璃材質瞬間放電，產生的臭氧的濃度較高，但使用壽命短，執行不穩定。在同樣電源的情況下，陶瓷介質的臭氧產量略低於玻璃介質，但使用壽命及穩定性要強於玻璃介質，缺點在於單支放電管產量不能超過20克/小時。搪瓷介質對氣源要求嚴格，成本造價高，易損壞。

2.臭氧氣源。臭氧以氧氣為原料生產，這裡的氧氣原料指不同濃度含量的氧氣，包括高濃度氧氣和空氣。氧氣的濃度對臭氧的濃度和產量具有重要影響。空氣中的氧氣的含量只有21%，所以，用空氣氣源製造的臭氧濃度比較低，在產生臭氧的同時，還會產生氮化物。

而瓶裝或製氧機中的氧氣純度都在90%以上，氧氣氣源產生的臭氧濃度較高。在水處理時，應優先考慮使用氧氣來發生臭氧。

3.臭氧電源。高壓放電是產生臭氧的一種常用方式，需要用臭氧放電電源提供能量。電源決定了臭氧放電介質的工作效率，電源頻率的提高可減少裝置體積，降低放電電壓，提高系統的安全性和可靠性。選擇臭氧發生器的時候要看是否為高頻逆變電源，是否具有調頻調寬功能，最高峰值可達到多少等。

4.冷卻技術。在利用高壓放電生成臭氧的過程中，會產生高溫。當溫度達到40℃以上時，會降低臭氧的濃度和產量，必須進行冷卻，對臭氧發生器進行降溫。常規的冷卻方式分為風冷和水冷，水冷的效果要高於風冷。目前，國內最先進的冷卻方式是內外極雙水冷加風冷，冷卻效果最佳，可有效保證臭氧的濃度、產量和裝置的使用壽命。

5.控制系統。可由主控臺對臭氧發生器系統進行控制，並實現迴圈泵、加壓泵等的聯動。要求控制系統具有短路保護、冷卻水過溫保護、變壓器過溫保護、機櫃開關保護等各項聯鎖保護功能。