電子工業用超純水裝置對水質的要求越來越高，隨著要求的不斷提高，電子工業用超純水裝置的工藝也在不斷的更換，對出水的質量要求也越來越高，水質提高，電子工業用超純水裝置應用的領域也越來越廣。

電子工業用超純水的工藝流程

電子行業製備超水的工藝大致分成以下幾種：

1、採用離子交換樹脂製備超純水的傳統水處理方式，其基本工藝流程為：原水→沙、碳過濾器→精密過濾器→原水箱→陽床→陰床→混床→純水箱→純水泵→後置精密過濾器→用水點

2、採用反滲透水處理裝置與離子交換裝置進行組合的方式，其基本工藝流程為：原水→沙、碳過濾器→精密過濾器→反滲透裝置→原水箱→純水泵→混床→後置精密過濾器→純水箱→用水點

3、採用反滲透水處理裝置與電去離子(EDI)裝置進行搭配的的方式，這是一種製取超純水的最新工藝，也是一種環保，經濟，發展潛力巨大的超純水製備工藝，其基本工藝流程為：原水→沙、碳過濾器→保安過濾器→一級反滲透裝置→原水箱→二級反滲透裝置→純水泵→電去離子(EDI)→純水箱→輸送泵→UV燈→精混→精密過濾器→用水點

4、採用反滲透+混合床方式，其流程如下：

原水→原水加壓泵→砂、碳過濾器→保安過濾器→反滲透→中間水箱→中間水泵→混合床→微孔過濾器→用水點

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電子工業應用超純水裝置的工藝流程：

水源進水 —— 原水儲水箱 —— 多介質過濾器 —— 活性炭過濾器 —— 阻垢裝置 —— 5 微米精密過 濾器 —— 雙級反滲透純水機組 —— 反滲透產水儲水箱 —— EDI 超純水制水 機組 —— 超純水產水儲水箱