等離子體降解有機廢氣是利用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的汙染物作用，使汙染物分子在極短的時間內發生分解，併發生後續的各種反應以達到分解汙染物的目的。等離子體內部產生富含極高化學活性的粒子，如電子、離子、自由基和激發態分子等。廢氣中的汙染物質與這些具有較高能量的活性基團發生反應，最終轉化為CO2和H2O等物質，從而達到淨化廢氣的目的。 適用範圍廣，淨化效率高，尤其適用於其它方法難以處理的多組分惡臭氣體，如化工、醫藥等行業。 佔地面積小；電子能量高，幾乎可以和所有的惡臭氣體分子作用；執行費用低；反應快、停止十分迅速，隨用隨開。但 一次性投資稍高，有些企業就難以接受，但從長遠角度看，這樣的技術儀器是不錯的。

1、低溫等離子體的定義

等離子體是原子及原子團失電子後，被電離產生正負離子組成的離子化氣體狀物質，常被視為是除固、液、氣外，物質存在的第四種形態。

等離子體由離子、電子、自由基等活性粒子組成，整體呈中性。等離子體是宇宙中物質的主要存在形式，佔物質總量的99％以上。在地球上，等離子體物質遠比固體、液體、氣體物質少。

2、高溫等離子體和低溫等離子體 等離子體可分為高溫等離子體和低溫等離子體。低溫等離子體是指電離度大於0.1％，且其正負電荷相等的電離氣體。

由於在整個體系表觀溫度很低，所以稱為低溫等離子體技術。又因為在體系中電子溫度遠大於離子溫度，系統在宏觀上處於熱力學非平衡狀態，所以又稱為非平衡等離子體技術。而高溫等離子體，電離度接近1，各種粒子溫度幾乎相同，體系在宏觀上處於熱力學平衡狀態，所以又稱為平衡等離子體技術，體系溫度可達到上萬度主要應用於受控熱核反應研究方面。

等離子體通常採用微波輻射、射頻放電、電子東照射和高電場氣體擊穿等方式達到等離子體態。目前，不同能量狀態的等離子體廣泛應用在電子、化工、醫療、食品、機械和環保等領域