三者都是點源逐點掃描成像，透過控制掃描驅動範圍，調節放大倍數，主要區別

1、極限解析度不同, 緣於放大訊號源的差異

鐳射共聚焦：極限解析度 150nm.

掃描電鏡：20nm~0.8nm.

原子力顯微鏡：極限解析度0.1nm

2、掃描驅動方式不同

鐳射共聚焦：鐳射轉鏡控制鐳射掃描範圍和掃描速度。

掃描電鏡：電磁線圈控制電子束掃描範圍和掃描速度，

原子力顯微鏡：壓電位移感測器驅動樣品臺X,Y 方向掃描，

3、立體成像的差別

鐳射共聚焦：透過奈米精度步進電機驅動樣品在Z軸方向逐層成像，軟體將設定的各層影象合成清晰立體影象。

掃描電鏡： 單幀影象具有很大景深，但屬於二維影象，透過立體對技術可實現三維成像。

原子力顯微鏡：成像的本質就是測量表面每個畫素點的高低，描繪出立體形貌。

4、工作環境差別

鐳射共聚焦和原子力顯微鏡可以在大氣環境中進行測試樣品

一般掃描電鏡必須在高真空環境下進行測試樣品

5、應用範圍差別

鐳射共聚焦：幾倍 ~ 幾千倍，樣品製備簡單

掃描電鏡 ：幾倍~幾十萬倍，樣品製備稍微複雜一些，但總體也很簡單。

原子力顯微鏡：幾萬倍~幾千萬倍， 要求樣品非常平坦，樣品製備很難。

6、價格