低壓過熱蒸汽只需要將高壓蒸汽經過減溫減壓即可得到，或是透過汽輪機等用汽裝置得到，這樣不僅蒸汽中的能量損失很少，透過汽輪機等裝置還可以獲取高壓蒸汽中的能量。　　飽和蒸汽，是指飽和狀態下的蒸汽，是由氣體分子之間的熱運動現象造成的。　　當液體在有限的密閉空間中蒸發時，液體分子透過液麵進入上面空間，成為蒸汽分子。由於蒸汽分子處於紊亂的熱運動之中，它們相互碰撞，並和容器壁以及液麵發生碰撞，在和液麵碰撞時，有的分子則被液體分子所吸引，而重新返回液體中成為液體分子。開始蒸發時，進入空間的分子數目多於返回液體中分子的數目，隨著蒸發的繼續進行，空間蒸汽分子的密度不斷增大，因而返回液體中的分子數目也增多。當單位時間內進入空間的分子數目與返回液體中的分子數目相等時，則蒸發與凝結處於動平衡狀態，這時雖然蒸發和凝結仍在進行，但空間中蒸汽分子的密度不再增大，此時的狀態稱為飽和狀態。在飽和狀態下的液體稱為飽和液體，其對應的蒸汽是飽和蒸汽，但最初只是溼飽和蒸汽，待蒸汽中的液態水完全蒸發後才是幹飽和蒸汽。蒸汽從不飽和到溼飽和再到幹飽和的過程溫度是不增加的，幹飽和之後繼續加熱則溫度會上升，成為過熱蒸汽。　　查飽和蒸汽的焓值，需要透過熵焓表。但飽和蒸汽溫度和壓力是對應關係，因此只需監測兩者之中任一個資料，然後根據熵焓表查出對應的焓值，乘以蒸汽量，就能計算飽和蒸汽的熱量。而過熱蒸汽的溫度和壓力關係不對應，要計算過熱蒸汽的熱量必需監測過熱蒸汽的溫度和壓力兩個資料，根據這兩個資料才能查出對應焓值。